Головна Головна -> Курсові роботи українською -> Хімія -> Розробка та дослідження композицій для хіміко-механічного полірування германію і кремнію

Розробка та дослідження композицій для хіміко-механічного полірування германію і кремнію

Назва:
Розробка та дослідження композицій для хіміко-механічного полірування германію і кремнію
Тип:
Курсова робота
Мова:
Українська
Розмiр:
6,71 KB
Завантажень:
55
Оцінка:
 
поточна оцінка 5.0


Скачати цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4 
Розробка та дослідження композицій для хіміко-механічного полірування германію і кремнію


ЗАГАЛЬНА ХАРАКТЕРИСТИКА РОБОТИ
Робота виконана в Прикарпатському національному університеті імені Василя Стефаника і на дослідному заводі Інституту хімії поверхні НАН України.
У роботі дотримувалася українського правопису Всеукраїнської Академії Наук 1928 р. (Г.В. Голоскевич. Правописний словник. – Нью – Йорк, 1962), Словаря української мови Бориса Грінченка. – Т. 1 – 4. Київ, 1997р., сучасного словника наукової та технічної термінології Дмитра Коновалюка (Російсько – український технічний словник. – Луцьк: Візор, 1993) та російсько – українського хімічного словника (Укладачі Є.Ф. Напряч, Ю.П. Назаренко, В.П. Чернецький. – Харків: Основа, 1990).
Актуальність теми. Розвиток твердотільної електроніки тісно пов’язаний з прогресом в області обробки поверхні напівпровідників. Хімічна модифікація поверхні напівпровідникових матеріалів та плівок є невід’ємною складовою частиною технології виготовлення різноманітних приладів сучасної електроніки. Для отримання високоякісної полірованої та структурно досконалої, бездефектної поверхні підкладок із збереженням необхідних геометричних параметрів використовують хіміко-механічне полірування. В таких системах важливо теоретично обґрунтувати і експериментально підібрати природу і кількісні співвідношення абразивної дисперсної фази і дисперсійного середовища, що забезпечують достатній хімічний і механічний вплив для досягнення прийнятної для практики швидкості обробки і в той же час стійкої в процесі використання та зберігання.
Вивчення процесів, що протікають на границі розділу «напівпровідник – композиція» для поліровки, є особливо актуальним, оскільки тут має місце не тільки механічне видалення порушеного поверхневого шару, а як показують багаточисленні дослідження, в результаті дії хімреагентів, на поверхні оброблюваних кристалів утворюються плівки, склад, структура і товщина яких залежать від умов процесу розчинення, та співвідношення інградієнтів композиції.
Традиційно використовувані напівпровідникові матеріали шляхом модифікування можуть набувати нових властивостей і, відповідно, сфер використання. Разом з тим відкриваються можливості створення нових напівпровідників. Це вимагає створення і нових технологій обробки, менш токсичних травильних композицій з низькими швидкостями розчинення напівпровідників.
Предметом дослідження є композиції для фінішної хіміко – механічної поліровки цих матеріалів.
Об’єктом дослідження є заготовки напівпровідникового германію і кремнію у вигляді круглих пластин діаметром 3,0 – 5,0 см.
Метою роботи є визначення складу і співвідношення інградієнтів композицій для різних режимів обробки.
Цій меті підпорядковані такі завдання:
Синтезувати зразки SiO2 різної дисперсності та з різним характером поверхні.
Підібрати склад композицій для хіміко – механічного полірування германію і кремнію.
Дослідити вплив травильних розчинів та концентрації дисперсної фази абразиву на швидкість обробки та якість поверхні виготовлених пластин.
Зв’язок роботи з науковими програмами, планами, темами. Тема роботи включена до плану роботи кафедри (Протокол № 3 від 16 жовтня 2004р.) і доповнює комплексні дослідження, які проводяться в університеті.
Методи дослідження. У роботі використано хімічні, мікроскопічний, рентгеноскопічний, а також синтетичні методи отримання порошків оксидів.
Обгрунтованість та ступінь достовірності результатів і досліджень та висновків роботи підтверджуються
експериментальними даними, отриманими з використанням комплексу сучасних методів дослідження, набором статистичних характеристик оброблених експериментальних даних.
Наукова новизна одержаних результатів полягає у використанні органокремнеземів з привитими на їх поверхні органічними сполуками в композиції з кислотно – лужними хімреагентами, що мають достатній вплив на розчинення твердої поверхні германію і кремнію.

Завантажити цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4 



Курсова робота на тему: Розробка та дослідження композицій для хіміко-механічного полірування германію і кремнію

BR.com.ua © 1999-2017 | Реклама на сайті | Умови використання | Зворотній зв'язок