Головна Головна -> Реферати українською -> Дисертації та автореферати -> ФОРМУВАННЯ ФАЗОВОГО СКЛАДУ, СТРУКТУРИ ТА ВЛАСТИВОСТЕЙ НАНОРОЗМІРНИХ ПЛІВОК СИЛІЦИДІВ ПЕРЕХІДНИХ МЕТАЛІВ Co, Mn, Ni, Ti, Та, Pt НА МОНОКРИСТАЛІЧНОМУ КРЕМНІЇ

ФОРМУВАННЯ ФАЗОВОГО СКЛАДУ, СТРУКТУРИ ТА ВЛАСТИВОСТЕЙ НАНОРОЗМІРНИХ ПЛІВОК СИЛІЦИДІВ ПЕРЕХІДНИХ МЕТАЛІВ Co, Mn, Ni, Ti, Та, Pt НА МОНОКРИСТАЛІЧНОМУ КРЕМНІЇ

Назва:
ФОРМУВАННЯ ФАЗОВОГО СКЛАДУ, СТРУКТУРИ ТА ВЛАСТИВОСТЕЙ НАНОРОЗМІРНИХ ПЛІВОК СИЛІЦИДІВ ПЕРЕХІДНИХ МЕТАЛІВ Co, Mn, Ni, Ti, Та, Pt НА МОНОКРИСТАЛІЧНОМУ КРЕМНІЇ
Тип:
Реферат
Мова:
Українська
Розмiр:
35,88 KB
Завантажень:
318
Оцінка:
 
поточна оцінка 5.0


Скачати цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11  12  13  14  15  16  17  18  19  20  21  22  23  24 
НАЦІОНАЛЬНА АКАДЕМІЯ НАУК УКРАЇНИ
ІНСТИТУТ ПРОБЛЕМ МАТЕРІАЛОЗНАВСТВА
ім. І.М. ФРАНЦЕВИЧА
ПАВЛОВА Олена Петрівна
УДК - 539.216. 2:621.793. 536. 425
ФОРМУВАННЯ ФАЗОВОГО СКЛАДУ, СТРУКТУРИ ТА ВЛАСТИВОСТЕЙ НАНОРОЗМІРНИХ ПЛІВОК СИЛІЦИДІВ ПЕРЕХІДНИХ МЕТАЛІВ
Co, Mn, Ni, Ti, Та, Pt НА МОНОКРИСТАЛІЧНОМУ КРЕМНІЇ
 
Спеціальність 01.04.07 – Фізика твердого тіла
АВТОРЕФЕРАТ
дисертації на здобуття наукового ступеня
доктора технічних наук
Київ – 2007


Дисертацією є рукопис
Роботу виконано в Національному технічному університеті України “Київський політехнічний інститут” Міністерства освіти і науки України
Науковий консультант член-кореспондент НАН України, доктор
фізико-математичних наук, професор
Сидоренко Сергій Іванович,
Національний технічний університет України
”Київський політехнічний інститут” МОН України,
завідувач кафедри фізики металів
Офіційні опоненти член-кореспондент НАН України, доктор
фізико-математичних наук, професор
Макара Володимир Арсенійович,
Київський національний університет
ім. Т.Г. Шевченка,
завідувач кафедри фізики металів
доктор фізико-математичних наук, професор
Пугачов Анатолій Тарасович,
Національний технічний університет України
”Харківський політехнічний інститут” МОН України,
завідувач кафедри фізики металів і напівпровідників
доктор технічних наук Сміян Олег Дмитрович,
Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона
НАН України, провідний науковий співробітник відділу
фізико-хімічних досліджень матеріалів
Захист відбудеться “ 24 ” жовтня 2007 р. о 14 годині на засіданні спеціалізованої вченої ради Д.26.207.01 в Інституті проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України за адресою: 03680, м. Київ, вул. Кржижанівського, 3.
З дисертацією можна ознайомитись у бібліотеці Інституту проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України за адресою: 03680, м. Київ, вул. Кржижанівського, 3.
Автореферат розісланий “ 21 ” вересня 2007 р.
Вчений секретар
спеціалізованої вченої ради Д.26.207.01 Н.П. Коржова


ЗАГАЛЬНА ХАРАКТЕРИСТИКА РОБОТИ
Актуальність теми. Розвиток мікроелектроніки є основою науково-технічного прогресу. Нанотехнології дозволяють одержати найвищу щільність функціональних елементів мікросхем, підвищити ступінь їх інтеграції і швидкодії, закласти в матеріали принципово нові властивості, не пов'язані з вихідним матеріалом, а придбані в результаті технологічних процесів. Передбачається, що за найближчі 5 років в результаті розвитку нанотехнологій в мікроелектроніці розміри згаданих елементів, наприклад, затворів транзисторів, зменшаться в три рази і складуть в 2011 році 22 нм. В подальшій мініатюризації інтегральних мікросхем можливості матеріалів, які традиційно використовувалися, часто підходять до меж їх застосування в результаті збільшених вимог до фізичних властивостей і експлуатаційних характеристик. Силіциди перехідних металів відносяться до з'єднань, які відповідають вимогам нанотехнологій, що розвиваються. Тонкі силіцидні плівки формуються в результаті хімічних реакцій під час взаємодії осадженої плівки металу і кремнію підкладки в твердій фазі в процесі осадження, під час відпалу або в результаті кристалізації з аморфного стану після розпилювання мішені, яка має склад певної силіцидної фази. У надвеликих інтегральних схемах, мікроприладах, які виготовляються за кремнієвою технологією (тобто основою приладу є монокристальна пластина кремнію), плівки силіцидів використовуються як різні функціональні елементи (випрямляючі діоди Шотткі, омічні контакти, затвори, емітери, колектори і міжз'єднання).| Особливий інтерес до силіцидних плівок пов'язаний з їх вищою, в порівнянні з металами, термічною і хімічною стійкістю, а також широким діапазоном властивостей, від тих, що характерні для металів, до властивостей напівпровідників. Термостійкість дисиліцидів забезпечує їх сумісність з технологічним процесом створення мікроприладу, оскільки 75% технологічних операцій по виготовленню мікроприладу здійснюється після того, як силіцидна плівка вже сформована. Оскільки у наш час до 90% мікросхем виготовляється за кремнієвою технологією, то силіциди є і залишатимуться в осяжному майбутньому важливими представниками списку нових матеріалів.

Завантажити цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11  12  13  14  15  16  17  18  19  20  21  22  23  24 



Реферат на тему: ФОРМУВАННЯ ФАЗОВОГО СКЛАДУ, СТРУКТУРИ ТА ВЛАСТИВОСТЕЙ НАНОРОЗМІРНИХ ПЛІВОК СИЛІЦИДІВ ПЕРЕХІДНИХ МЕТАЛІВ Co, Mn, Ni, Ti, Та, Pt НА МОНОКРИСТАЛІЧНОМУ КРЕМНІЇ

BR.com.ua © 1999-2017 | Реклама на сайті | Умови використання | Зворотній зв'язок