Головна Головна -> Реферати українською -> Дисертації та автореферати -> реферат: ЗАКОНОМІРНОСТІ ФАЗОУТВОРЕННЯ ТА ТЕРМІЧНА СТАБІЛЬНІСТЬ СИЛІЦИДУ НІКЕЛЮ NiSi В ТОНКОПЛІВКОВИХ СИСТЕМАХ Co-Ni, Ni-Ті, Ni-Si НА МОНОКРИСТАЛАХ КРЕМНІЮ

ЗАКОНОМІРНОСТІ ФАЗОУТВОРЕННЯ ТА ТЕРМІЧНА СТАБІЛЬНІСТЬ СИЛІЦИДУ НІКЕЛЮ NiSi В ТОНКОПЛІВКОВИХ СИСТЕМАХ Co-Ni, Ni-Ті, Ni-Si НА МОНОКРИСТАЛАХ КРЕМНІЮ / сторінка 2

Назва:
ЗАКОНОМІРНОСТІ ФАЗОУТВОРЕННЯ ТА ТЕРМІЧНА СТАБІЛЬНІСТЬ СИЛІЦИДУ НІКЕЛЮ NiSi В ТОНКОПЛІВКОВИХ СИСТЕМАХ Co-Ni, Ni-Ті, Ni-Si НА МОНОКРИСТАЛАХ КРЕМНІЮ
Тип:
Реферат
Мова:
Українська
Розмiр:
18,74 KB
Завантажень:
178
Оцінка:
 
поточна оцінка 5.0


Скачати цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11  12  13  14 
Актуальним є встановлення закономірностей утворення силіцидів у залежності від фізико-технологічних параметрів процесів отримання та термічної обробки. Тому дослідження структурних та фазових перетворень у вакуумних конденсатах “перехідний метал - кремній”, в бішарових та в багатошарових композиціях на монокристалічному кремнії, що мають перспективу практичного використання, є актуальними як у науковому, так і в практичному відношеннях.
Зв’язок роботи з науковими програмами, планами, темами. Робота виконана на кафедрі фізики металів Національного технічного університету України “Київський політехнічний інститут” у ході виконання ряда науково-дослідних робіт.
Робота проводилась у відповідності з тематичним планом науково-дослідних робіт НТУУ ”КПІ”, які були включені до координаційного плану “Дифузійне формування структури, фазовий склад та фізичні властивості перспективних металевих матеріалів, покриттів і тонких шарів” згідно наказу Міносвіти України від 13.02.97р., пр. №37. Робота виконана як складова частина в рамках науково-дослідних робіт: “Дослідження процесів перерозподілу домішок при формуванні кристалічної структури плівок силіцидів перехідних металів” (номер держреєстрації 0196U008649); “Дослідження твердофазних реакцій силіцидоутворення в біметалевих тонкоплівкових системах Ti-W, Ti-Co на кремнії” (номер держреєстрації 0198U00095) та Державного контракту №4.99.26. згідно наказу Міністерства освіти і науки України від 07.06.2000р. пр. №168, “Дослідження квантових осциляційних явищ та особливостей електронної будови, а також міжшарових взаємодій у багатошарових наноструктурах перехідний метал-кремній методами експерементальної та теоретичної магнітооптичної та оптичної спектроскопії (номер держреєстрації 0102U000798), “ Дослідження оптичних властивостей плівок дисиліцидів 3d- і 4d- перехідних металів (номер держреєстрації 0196U004115), “Дослідження міжшарових взаємодій у системах 3d- перехідний метал – кремній методами експериментальної та теоретичної магнітооптичної спектроскопії (номер держреєстрації 0100U002916), “Формування нанорозмірних плівок NiSi та Mn4Si7 на монокристалічному кремнії” (номер держреєстрації 0104U003247).
Мета роботи полягає у визначенні закономірностей формування фазового складу й структури внаслідок термічно-активованих твердотільних реакцій та інтервалів термічної стійкості силіциду нікелю NiSi у тонкоплівкових системах Ni, Co, Co-Ni, Ni-Ti та у багатошарових плівкових нанорозмірних системах Ni/Si/Ni/Si…, Co/Si/Co/Si…, Ni/Tі/Ni/Ti… на монокристалах кремнію.
Для досягнення поставленої мети вирішувались наступні наукові завдання дослідження:
1)
Визначити вплив орієнтації монокристалічної кремнієвої підкладки, наявності шару “природного” оксиду кремнію і термічної обробки у вакуумі в інтервалі температур 470 - 1170 К на формування структури, фазовий склад та електрофізичні властивості в тонкоплівкових системах Ni(200 нм), Co(200 нм), Co(300 нм)/Ni(20, 50, 300 нм), Ni(300 нм)/Co(20 нм) на монокристалічному кремнії.
2)
Встановити закономірності процесів фазоутворення в умовах термічного відпалу у вакуумі в інтервалі температур 470 – 1270 К, інтервали існування силіциду нікелю NiSi у тонкоплівкових системах Ti(200 нм)/Ni(200 нм)/Si(001) та Ni(200 нм)/Ti(200 нм)/Si(001).
3)
Встановити закономірності термічно активованих процесів фазоутворення, інтервали існування силіциду нікелю NiSi у багатошарових плівкових композиціях на монокристалічному кремнії орієнтації (001) Ni/Si/Ni/Si… (при різних співвідношеннях кількості речовин Ni та Si: 2:1, 1:1, 1:2), Co/Si/Co/Si… (при співвідношенні кількості речовин Co та Si: 1:2), Ni/Tі/Ni/Ti… (при різних співвідношеннях кількості речовин Ni та Ti: 3:1, 1:1, 1:2).
4)
Визначити вплив термічної обробки у вакуумі в інтервалі температур 470 - 1170 К на оптичні та магнітооптичні властивості матеріалів багатошарових плівкових композицій на монокристалічному кремнії орієнтації (001) Ni/Si/Ni/Si… при різних співвідношеннях кількості речовин Ni та Si: 2:1, 1:1, 1:2), Co/Si/Co/Si… (при співвідношенні кількості речовин Co та Si: 1:2).

Завантажити цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11  12  13  14 



Реферат на тему: ЗАКОНОМІРНОСТІ ФАЗОУТВОРЕННЯ ТА ТЕРМІЧНА СТАБІЛЬНІСТЬ СИЛІЦИДУ НІКЕЛЮ NiSi В ТОНКОПЛІВКОВИХ СИСТЕМАХ Co-Ni, Ni-Ті, Ni-Si НА МОНОКРИСТАЛАХ КРЕМНІЮ

BR.com.ua © 1999-2017 | Реклама на сайті | Умови використання | Зворотній зв'язок