Головна Головна -> Реферати українською -> Дисертації та автореферати -> ФОРМУВАННЯ ТА ДОСЛІДЖЕННЯ ДВОВИМІРНИХ ФОТОННИХ СТРУКТУР НА ОСНОВІ МАКРОПОРИСТОГО КРЕМНІЮ

ФОРМУВАННЯ ТА ДОСЛІДЖЕННЯ ДВОВИМІРНИХ ФОТОННИХ СТРУКТУР НА ОСНОВІ МАКРОПОРИСТОГО КРЕМНІЮ

Назва:
ФОРМУВАННЯ ТА ДОСЛІДЖЕННЯ ДВОВИМІРНИХ ФОТОННИХ СТРУКТУР НА ОСНОВІ МАКРОПОРИСТОГО КРЕМНІЮ
Тип:
Реферат
Мова:
Українська
Розмiр:
15,23 KB
Завантажень:
319
Оцінка:
 
поточна оцінка 5.0


Скачати цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11 
НАЦІОНАЛЬНА АКАДЕМІЯ НАУК УКРАЇНИ
ІНСТИТУТ ФІЗИКИ НАПІВПРОВІДНИКІВ
ЛИТВИНЕНКО ОЛЕГ ОЛЕКСАНДРОВИЧ
УДК 541.013+621.315
ФОРМУВАННЯ ТА ДОСЛІДЖЕННЯ
ДВОВИМІРНИХ ФОТОННИХ СТРУКТУР
НА ОСНОВІ МАКРОПОРИСТОГО КРЕМНІЮ
05.27.06 – технологія, обладнання та виробництво електронної техніки
АВТОРЕФЕРАТ
дисертації на здобуття наукового ступеня
кандидата технічних наук
КИЇВ – 2002


Дисертацією є рукопис
Робота виконана в Інституті фізики напівпровідників НАН України
Науковий керівник: доктор технічних наук,
Карачевцева Людмила Анатоліївна,
Інститут фізики напівпровідників НАН України,
зав. відділом
Офіційні опоненти:–
доктор технічних наук, професор, Осинський Володимир Іванович,
науково-дослідний інститут “Мікроприлад” міністерства промислової політики України, заступник директора–
доктор фізико-математичних наук, професор, Горбик Петро Петрович,
Інститут хімії поверхні НАН України, заступник директора
Провідна установа:
Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України, м. Київ.
Захист відбудеться “18” жовтня 2002 р. о 1415 годині на засіданні спеціалізованої вченої ради К .199.01 в Інституті фізики напівпровідників НАН України за адресою 03028, м. Київ – 28, проспект Науки, 45.
З дисертацією можна ознайомитись у бібліотеці Інституту фізики напівпровідників НАН України (м. Київ, проспект Науки, 45)
Автореферат розісланий “12” вересня 2002 р.
Вчений секретар
спеціалізованої вченої ради Охріменко О.Б.


ЗАГАЛЬНА ХАРАКТЕРИСТИКА РОБОТИ
Актуальність теми. Фотонні структури з періодичною модуляцією діелектричної проникності є новим класом матеріалів, які використовуються для трансформації спектру електромагнітного випромінювання. Зокрема, в періодичних структурах спектр електромагнітного випромінювання розподіляється на зони, заборонені для його проходження, за аналогією з електронами у кристалах. Різниця між фотонами і електронами визначає специфіку фізичних явищ у фотонних структурах і потребує перегляду звичайних законів поглинання та емісії електромагнітного випромінювання, рекомбінаційних процесів. Основні роботи, в яких сформульовані принципи формування фотонної забороненої зони, були опубліковані у 1987 році, але динамічного розвитку ця проблема одержала у 90-ті роки. Нині вже запропоновані напрямки застосування структур з фотонною забороненою зоною для частот електромагнітного випромінювання від мікрохвильових до оптичних, зокрема безпорогові лазери, фільтри, мікрохвильові антени, дзеркала, хвилеводи. Ефект формування фотонної забороненої зони відкриває перспективи виготовлення фотонних аналогів напівпровідникових пристроїв.
Найбільш ефективними методами виготовлення фотонних структур є літографічні методи, поєднані з електрохімічним травленням. Такі методи дозволяють формувати структури з періодом від нанометрів до мікрометрів. Зокрема, методом електрохімічного травлення виготовлені мікропористі (діаметр пор до 2 нм), мезопористі (діаметр пор 2_ нм) та макропористі (діаметр пор більше 50 нм) структури в залежності від умов анодного електрохімічного процесу. Перспективним матеріалом для розробки двовимірних фотонних структур є макропористий кремній. Це пов’язано з відносно нескладною технологією електрохімічного формування структур з потрібною геометрією, великим контрастом діелектричної проникності макропор і кремнієвої матриці, можливістю узгодження нових пристроїв на основі макропористого кремнію з існуючими технологіями.
Двовимірні структури макропористого кремнію вперше були виготовлені на фірмі СІМЕНС В.Леманном. При цьому високоякісні фотонні періодичні структури були сформовані на кремнії з опором 40 Ом·см. В.Леманном були також виготовлені макропористі структури на пластинах низькоомного кремнію (<  Ом·см), але форма пор відрізнялася від циліндричної (конічна, з нерівними стінками пор). Тому процес фотоанодного травлення кремнію з довільним питомим опором потребує удосконалення з урахуванням впливу дифузії, дрейфу та об’ємної рекомбінації дірок на струмоперенос в кремнієвому аноді.

Завантажити цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11 



Реферат на тему: ФОРМУВАННЯ ТА ДОСЛІДЖЕННЯ ДВОВИМІРНИХ ФОТОННИХ СТРУКТУР НА ОСНОВІ МАКРОПОРИСТОГО КРЕМНІЮ

BR.com.ua © 1999-2017 | Реклама на сайті | Умови використання | Зворотній зв'язок