Головна Головна -> Реферати українською -> Дисертації та автореферати -> КутовІ І енергетиЧнІ розподІли ІонІв, емІтованих одноелементними та сплавними рІдкометалевими джерелами

КутовІ І енергетиЧнІ розподІли ІонІв, емІтованих одноелементними та сплавними рІдкометалевими джерелами

Назва:
КутовІ І енергетиЧнІ розподІли ІонІв, емІтованих одноелементними та сплавними рІдкометалевими джерелами
Тип:
Реферат
Мова:
Українська
Розмiр:
14,05 KB
Завантажень:
81
Оцінка:
 
поточна оцінка 5.0


Скачати цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9 
НацІональна академІЯ наук украЇни
Інститут фІзики
На правах рукопису
Кулик ВІктор СеменовиЧ
УДК 537:534.1
КутовІ І енергетиЧнІ розподІли ІонІв,
емІтованих одноелементними та сплавними
рІдкометалевими джерелами
Спеціальність 01.04.04.- фізична електроніка
автореферат
дисертації на здобуття наукового ступеня
кандидата фізико-математичних наук
Київ - 1999Дисертація є рукописом
Робота виконана у відділі фізичної електроніки Інституту фізики НАН України
Науковий керівник: доктор фізико-математичних наук,
професор Медведєв Валентин Кузьмич
Офіційні опоненти: доктор фізико-математичних наук
Горшков Вячеслав Миколайович,
(Інститут фізики НАН України)
кандидат фізико-математичних наук
Козирєв Юрій Миколайович
(Інститут хімії поверхні НАН України)
Провідна організація: Національний університет ім. Т. Шевченка,
радіофізичний факультет
Захист відбудеться “28” жовтня 1999 р. о 16 годині
на засіданні Спеціалізованої вченої ради Д 26.159.01
при Інституті фізики НАН України (252022, Київ, проспект Науки,46)
З дисертацією можна ознайомитись в науковій бібліотеці Інституту фізики НАН України
Автореферат розіслано 23 вересня 1999 р.
Вчений секретар
Спеціалізованої вченої ради
кандидат фізико-математичних наук Іщук В.А.
Загальна характеристика роботи
Актуальність теми
Одним із пріоритетних напрямів розвитку мікроелектроніки є розробка і створення унікального інструментарію нанотехнологій, за допомогою якого можна виготовляти електронні і оптичні схеми з розмірами елементів, меншими десяти нанометрів. Застосування рідкометалевих джерел іонів (РМДІ) в іонно-променевих пристроях дає можливість створення прецизійного, універсального інструмента, що може задовольнити ці вимоги. Гостросфокусовані іонні пучки РМДІ з керованою енергією і відхиленням, за останні роки знайшли широке практичне застосування для різних видів обробки мікронних об'єктів, для прямої (безмаскової) імплантації домішок в напівпровідникові матеріали, для літографічних робіт, а також для проведення елементного аналізу досліджуваних об'єктів [1,2]. Отже РМДІ може бути не тільки частиною таких інструментів, а ще й основою для розробки багатьох методик фізичних досліджень. Яскравість РМДІ є рекордною серед відомих джерел іонів (~108А/см2.ср), область емісії становить мільйонну частку квадратного мікрометра. Таким чином, це практично точкове джерело. Розкид емітованих ним іонів по енергіях залежить в основному від величини емісійного струму і становить ~5ё50 еВ. В найпростішому вигляді РМДІ складається всього з двох електродів: емітера, яким може бути капіляр, заповнений розплавом металу, чи змочене ним направляюче вістря, і екстрактора (колектора) іонів. Таке джерело займає об'єм біля одного кубічного сантиметра. Навіть простою системою електростатичних лінз вдається сфокусувати іони РМДІ в цятку діаметром ~50 нм.
Фокусувальні пристрої, які мають систему для розділення іонів різних мас і зарядів, дозволяють використовувати сплавні джерела в іонно-променевих установках. Сплавні джерела не тільки розширюють спектр необхідних для використання іонів, а й дають можливість без зміни джерела проводити обробку об'єктів різними іонами в одному технологічному циклі.
Слід зауважити, що чим ширше РМДІ впроваджується в практичні розробки, тим нагальнішими стають питання не тільки практичного, а й теоретичного характеру. На даний момент є ще багато питань стосовно механізмів роботи рідкометалевих джерел, єдиної думки про які ще немає . Отже самі джерела є складними фізичними об'єктами, які необхідно вивчати. Зрозуміло, що складність цього перспективного джерела обумовлена тим, що в невеликому за розмірами об'ємі простору (в декілька нанометрів), на межі метал-вакуум відбуваються одночасно багато взаємопов'язаних фізичних явищ. Основними з них є: електрогідродинамічний рух рідкого металу; дія сил поверхневого натягу в умовах руху рідини і дії електричних полів, які досягають величин близьких до внутрішньоатомних; польове випаровування при щільності емітованих іонів, що наближаються до щільності атомів у поверхневому шарі рідини; взаємодія емітованих заряджених частинок між собою і вплив просторового заряду на область емісії; процеси взаємоузгодженої зміни форми рідкої плівки і розподілу електричного поля над нею; коливання поверхні рідкого металу та інші.

Завантажити цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9 



Реферат на тему: КутовІ І енергетиЧнІ розподІли ІонІв, емІтованих одноелементними та сплавними рІдкометалевими джерелами

BR.com.ua © 1999-2017 | Реклама на сайті | Умови використання | Зворотній зв'язок