Головна Головна -> Реферати українською -> Дисертації та автореферати -> ФОРМУВАННЯ СТРУКТУРИ І ФАЗОВІ ПЕРЕТВОРЕННЯ ПРИ ІМПУЛЬСНІЙ ЛАЗЕРНІЙ КОНДЕНСАЦІЇ МЕТАЛЕВИХ, ОКСИДНИХ І НАПІВПРОВІДНИКОВИХ ПЛІВОК

ФОРМУВАННЯ СТРУКТУРИ І ФАЗОВІ ПЕРЕТВОРЕННЯ ПРИ ІМПУЛЬСНІЙ ЛАЗЕРНІЙ КОНДЕНСАЦІЇ МЕТАЛЕВИХ, ОКСИДНИХ І НАПІВПРОВІДНИКОВИХ ПЛІВОК

Назва:
ФОРМУВАННЯ СТРУКТУРИ І ФАЗОВІ ПЕРЕТВОРЕННЯ ПРИ ІМПУЛЬСНІЙ ЛАЗЕРНІЙ КОНДЕНСАЦІЇ МЕТАЛЕВИХ, ОКСИДНИХ І НАПІВПРОВІДНИКОВИХ ПЛІВОК
Тип:
Реферат
Мова:
Українська
Розмiр:
38,71 KB
Завантажень:
182
Оцінка:
 
поточна оцінка 5.0


Скачати цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11  12  13  14  15  16  17  18  19  20  21  22  23 
ХАРКІВСЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ УНІВЕРСИТЕТ
ім. В.Н. КАРАЗІНА
БАГМУТ Олександр Григорович
УДК: 539.216.2
ФОРМУВАННЯ СТРУКТУРИ І ФАЗОВІ ПЕРЕТВОРЕННЯ ПРИ ІМПУЛЬСНІЙ ЛАЗЕРНІЙ КОНДЕНСАЦІЇ МЕТАЛЕВИХ, ОКСИДНИХ І НАПІВПРОВІДНИКОВИХ ПЛІВОК
01.04.07 – фізика твердого тіла
Автореферат
дисертації на здобуття наукового ступеня
доктора фізико-математичних наук
Харків – 2004


Дисертацією є рукопис.
Робота виконана у Національному технічному університеті “Харківський політехнічний інститут” Міністерства освіти і науки України.
Науковий консультант: доктор фізико-математичних наук, професор Косевич Вадим Маркович, Національний технічний університет “Харківський політехнічний інститут”, кафедра теоретичної та експериментальної фізики, завідувач кафедри.
Офіційні опоненти:
1. Член-кореспондент НАН України, доктор фiзико-математичних наук, професор Фірстов Сергій Олексійович, Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України, заступник директора.
2. Член-кореспондент НАН України, доктор фiзико-математичних наук, старший науковий співробітник Пузіков Вячеслав Михайлович, Науково-дослідне відділення оптичних та конструкційних кристалів НТК Інститут монокристалів НАН України, директор.
3. Доктор фiзико-математичних наук, професор Бакай Олександр Степанович, ННЦ “Харківський фізико-технічний інститут” МОН України, Інститут теоретичної фізики, начальник теоретичного відділу.
Провідна установа:
Київський національний університет ім. Тараса Шевченка, кафедра кріогенної та мікроелектроніки, м. Київ.
Захист відбудеться “ 9 ” квітня 2004 р. о 14 годині на засіданні спеціалізованої вченої ради Д 64.051.03 Харківського національного університету ім. В.Н. Каразіна (61077, м. Харків, пл. Свободи, 4, ауд. ім. К.Д. Синельникова).
З дисертацією можна ознайомитись у Центральній науковій бібліотеці Харківського національного університету ім. В.Н. Каразіна (61077, м. Харків, пл. Свободи, 4).
Автореферат розісланий “ 13 ” лютого 2004 р.
Вчений секретар спеціалізованої вченої ради В.П. Пойда


ЗАГАЛЬНА ХАРАКТЕРИСТИКА РОБОТИ
Актуальність теми. Розвиток мікроелектроніки і наноелектроніки визначено досягненнями фізики твердого тіла і матеріалознавства. Інтерес до тонких плівок, як до наноструктурних матеріалів, різко зріс в останнє десятиріччя. Це обумовлено як специфікою фізико-хімічних властивостей наночасток (структурних елементів, характерний розмір яких ? 40 нм), що утворюють плівку, так і їхньою поведінкою у макроскопічному ансамблі.
Структура і властивості плівок, для одержання яких використовуються стаціонарні методи випару речовини (наприклад, термічний і електронно-променевий), у цей час досліджені досить повно. Розвиток фізичних уявлень про процеси структуроутворення ініціював розробку і впровадження нових імпульсних методів керованого вирощування плівок. У цьому випадку речовина на підкладці осідає окремими порціями з пароплазмового потоку, що утворюється шляхом розпилення мішені пучком високоенергетичних іонів або фотонів. Це забезпечило можливість синтезу нового покоління тонкоплівкових об'єктів – суцільних надтонких плівок (товщиною ? 4 нм), плівок, що складаються з кластерів і з упровадженими кластерами (т.зв. “матеріали, зібрані з кластерів”), багатошарових плівкових композицій широкого кола хімічних елементів і сполук.
Імпульсне лазерне напилення речовини за рядом параметрів вигідно відрізняється від стаціонарних методів створення тонкоплівкових структур. Воно забезпечує високі температури випару на локальній ділянці поверхні мішені і миттєві швидкості конденсації в умовах високого ефективного вакууму, а також можливість випару будь-яких речовин з відтворенням у плівці вихідного складу матеріалу мішені. Пароплазмовий потік, який осаджується на підкладці, містить значну частину високоенергетичних іонів і збуджених атомів, що забезпечує інтенсивне утворення зародків і зниження температури епітаксіального росту. В процесі створення тонкоплівкового лазерного конденсату можна виділити три основні стадії. Перша стадія - це випар локальної ділянки поверхні мішені з утворенням пароплазмового факела під впливом сфокусованого лазерного променя.

Завантажити цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11  12  13  14  15  16  17  18  19  20  21  22  23 



Реферат на тему: ФОРМУВАННЯ СТРУКТУРИ І ФАЗОВІ ПЕРЕТВОРЕННЯ ПРИ ІМПУЛЬСНІЙ ЛАЗЕРНІЙ КОНДЕНСАЦІЇ МЕТАЛЕВИХ, ОКСИДНИХ І НАПІВПРОВІДНИКОВИХ ПЛІВОК

BR.com.ua © 1999-2017 | Реклама на сайті | Умови використання | Зворотній зв'язок