Головна Головна -> Реферати українською -> Дисертації та автореферати -> ФАЗОВІ ПЕРЕТВОРЕННЯ В БАГАТОШАРОВИХ ПЛІВКОВИХ СИСТЕМАХ Sc/Si і Sc/W/Si/W

ФАЗОВІ ПЕРЕТВОРЕННЯ В БАГАТОШАРОВИХ ПЛІВКОВИХ СИСТЕМАХ Sc/Si і Sc/W/Si/W

Назва:
ФАЗОВІ ПЕРЕТВОРЕННЯ В БАГАТОШАРОВИХ ПЛІВКОВИХ СИСТЕМАХ Sc/Si і Sc/W/Si/W
Тип:
Реферат
Мова:
Українська
Розмiр:
17,14 KB
Завантажень:
252
Оцінка:
 
поточна оцінка 5.0


Скачати цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11 
ХАРКІВСЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ УНІВЕРСИТЕТ
ім. В. Н. Каразіна
На правах рукопису
Воронов Дмитро Леонідович
УДК 621.785.3; 539.216.2
ФАЗОВІ ПЕРЕТВОРЕННЯ В БАГАТОШАРОВИХ ПЛІВКОВИХ
СИСТЕМАХ Sc/Si і Sc/W/Si/W
01.04.07 – фізика твердого тіла
Автореферат
дисертації на здобуття наукового ступеня
кандидата фізико-математичних наук
Харків – 2002 р.
Дисертація є рукописом.
Робота виконана у Національному технічному університеті "Харківський політехнічний інститут" Мінистерства освіти і науки України.
Науковий керівник: доктор фізико-математичних наук, старший науковий співробітник Кондратенко Валерій Володимирович (головний науковий співробітник кафедри фізики металів та напівпровідників Національного технічного університету "Харківський політехнічний інститут").
Офіційні опоненти: доктор фізико-математичних наук, професор, завідувач кафедри теоретичної та експериментальної фізики Національного технічного університету "Харківський політехнічний інститут" Косевич Вадим Маркович
кандидат фізико-математичних наук, старший науковий співробітник Науково-технологічного концерну "Інститут монокристалів" НАН України Федоров Олександр Григорович
Провідна установа: Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України, м. Київ, відділ конструкційної кераміки та керметів.
Захист відбудеться 04.10.2002 року о 13 годині на засіданні спеціалізованої вченої ради Д 64.051.03 у Харківському національному університеті ім. В.Н. Каразіна (61077, м. Харків, пл. Свободи, 4, ауд. ім. К.Д. Синельникова).
З дисертацією можна ознайомитись у Центральній науковій бібліотеці Харківського національного університету ім. В.Н. Каразіна.
Автореферат розіслано 02.09.2002 р.
Вчений секретар
спеціалізованої ради В.П. Пойда
ЗАГАЛЬНА ХАРАКТЕРИСТИКА РОБОТИ
Актуальність теми. Дослідження фазових перетворень у плівкових композиціях "перехідний метал – кремній" необхідні як для розвитку наукових уявлень про фундаментальні закономірності протікання процесів фазоутворення в нанорозмірних системах, так і для розв'язання ряду важливих технологічних задач. Інтенсивний розвиток досліджень з цієї тематики протягом останніх 20  років зумовлений, перш за все, потребами мікроелектронної промисловості. Структура, фазовий склад плівкових композицій та їхня еволюція під впливом зовнішніх факторів визначають як робочі характеристики мікроелектронного пристрою, так і його надійність і довговічність. У той же час надмала товщина і, як правило, низька структурна досконалість вказаних об'єктів, яка пов'язана з нерівноважними умовами їх виготовлення, значно звужують коло фізичних методів дослідження. У цьому зв'язку багатошарові періодичні покриття є зручним модельним об'єктом, тому що завдяки своїй періодичності можуть бути досліджені за допомогою дифракційних методів.
Інший практично важливий напрямок застосування багатошарових метал-кремнієвих систем, що стрімко розвивається в останні два десятиліття, – дзеркальна оптика нормального падіння для діапазону м'якого рентгенівського випромінювання (1 –  нм). Створення рентгенівських дзеркал необхідно для розробки оптичних схем і пристроїв керування м'яким рентгенівським випромінюванням, переходу проекційної літографії до більш коротких довжин хвиль, що дозволить досягти більшої щільності розміщення елементів у інтегральних схемах. Багатошарові періодичні покриття, період яких порівняний з довжиною хвилі електромагнітного випромінювання, що падає, є для цього випромінювання інтерференційними структурами. Це дозволяє одержувати високі значення відбивної здатності.
Весь діапазон м'якого рентгенівського випромінювання розбитий на кілька піддіапазонів, для кожного з яких задача створення відбивної оптики розв`язується шляхом підбору оптимальної пари матеріалів багатошарового дзеркала. Дзеркала Sc/Si призначені для роботи в інтервалі довжин хвиль 35   нм. Ця область електромагнітного випромінювання викликає великий інтерес у фахівців, які займаються створенням рентгенівських лазерів, що працюють у довгохвильовій частині рентгенівського спектра.

Завантажити цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11 



Реферат на тему: ФАЗОВІ ПЕРЕТВОРЕННЯ В БАГАТОШАРОВИХ ПЛІВКОВИХ СИСТЕМАХ Sc/Si і Sc/W/Si/W

BR.com.ua © 1999-2017 | Реклама на сайті | Умови використання | Зворотній зв'язок