Головна Головна -> Реферати українською -> Дисертації та автореферати -> ОТРИМАННЯ ТА ДОСЛІДЖЕННЯ КРЕМНІЄВИХ СТРУКТУР З АЛМАЗНИМИ ТА АЛМАЗОПОДІБНИМИ ПЛІВКАМИ

ОТРИМАННЯ ТА ДОСЛІДЖЕННЯ КРЕМНІЄВИХ СТРУКТУР З АЛМАЗНИМИ ТА АЛМАЗОПОДІБНИМИ ПЛІВКАМИ

Назва:
ОТРИМАННЯ ТА ДОСЛІДЖЕННЯ КРЕМНІЄВИХ СТРУКТУР З АЛМАЗНИМИ ТА АЛМАЗОПОДІБНИМИ ПЛІВКАМИ
Тип:
Реферат
Мова:
Українська
Розмiр:
19,64 KB
Завантажень:
431
Оцінка:
 
поточна оцінка 5.0


Скачати цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11  12 
НАЦІОНАЛЬНИЙ ТЕХНІЧНИЙ УНІВЕРСИТЕТ УКРАЇНИ
"КИЇВСЬКИЙ ПОЛІТЕХНІЧНИЙ ІНСТИТУТ"
СЕМІКІНА ТЕТЯНА ВІКТОРІВНА
УДК 621.315.592.+621.373.826          
ОТРИМАННЯ ТА ДОСЛІДЖЕННЯ КРЕМНІЄВИХ СТРУКТУР З АЛМАЗНИМИ ТА АЛМАЗОПОДІБНИМИ ПЛІВКАМИ
05.27.01- твердотільна електроніка
АВТОРЕФЕРАТ
дисертації на здобуття наукового ступеня
кандидата технічних наук
Київ - 2001
Дисертацією є рукопис.
Робота виконана на кафедрі мікроелектроніки Національного технічного університету України "КПІ" Міністерства освіти і науки України.
Науковий керівник: доктор технічних наук, професор, член-кор. НАНУ Якименко Юрій Іванович, Національний технічний університет України "КПІ", Завідуючий кафедрою мікроелектроніки.
Офіційні опоненти: доктор технічних наук, професор Осінський Володимир Іванович, НДІ мікроприладів Міністерства промполітики України, м.Київ, заст. директора кандидат фізико-математичних наук Гонтар Олександр Григорович, Інститут надтвердих матеріалів імені В.М. Бакуля Національної Академії наук України, м.Київ, старший науковий співробітник
Провідна установа: Інститут проблем матеріалознавства імені І.М. Францевича Національної Академії наук України, м. Київ
Захист відбудеться "21" січня 2002 р. о 15 00 годині на засіданні спеціалізованої вченої ради Д.26.002.08 при Національному технічному університеті України "Київський політехнічний інститут " за адресою: 03056, Київ, пр. Перемоги , 37, навчальний корпус № 12 , ауд. 114.
З дисертацією можна ознайомитися в бібліотеці Національного технічного університету України "Київський політехнічний інститут" за адресою : 03056, м. Київ, проспект Перемоги,37.
Автореферат розіслано " _4__ " грудня 2001 р.
Вчений секретар спеціалізованої вченої ради к.т.н., професор Писаренко Л.Д.
Загальна характеристика роботи
Актуальність теми: в останні десятиріччя проваджуються інтенсивні роботи, пов'язані з синтезом та дослідженням алмазних (АП) та алмазоподібних вуглецевих плівок (АПП). Це зумовлено унікальністю та різноманітністю властивостей даних плівок, можливістю керувати властивостями плівок під час їх синтезу, а також широкими перспективами їх застосування.
Синтез алмазоподібних вуглецевих плівок на основі sp2 та sp3 –гібридизованих атомів за умов термодинамічної нестійкості став новим напрямком у фізиці та технології напівпровідників та діелектриків. Завдяки відпрацюванню технологічних режимів, з'явилась можливість контрольованої зміни структури, фазового складу та властивостей АПП плівок. Такі унікальні властивості плівок, як велика ширина забороненої зони, хімічна та радіаційна стійкість, біосумісність, високі значення теплопровідності, температурної стабільності характеристик, мікротвердості та зносостійкості, малий коефіцієнт тертя, висока прозорість в широкому оптичному діапазоні (від 0,2 до 20 мкм) та інші властивості у поєднанні з можливістю осадження плівок на підкладинки при температурі 300-400 К, простота процесу осадження, зумовили широкі перспективи для використання цих плівок в оптиці, електроніці, біомедицині, машинобудуванні, космічному приладобудуванні та інших областях науки та техніки.
Використання алмазних та алмазоподібних вуглецевих плівок в електронній техніці дозволить в перспективі створити радіаційностійкі та термостабільні напівпровідникові пристрої; пристрої, що працюють в області високих температур; сенсори потужних потоків частинок та іонізуючих електромагнітних випромінювань; оптоелектронні пристрої з розширеним короткохвильовим спектральним діапазоном, підвищеною перешкодостійкістю та інформаційною ємністю; холодні електронні емітери; тепловідвідувачі; захисні, просвітлюючі інтерференційні покриття фотоелектричних перетворювачів (ФЕП), фотоприймачів та оптичних фільтрів.
При осадженні плівок різними вакуумними методами спостерігається дуже складна картина процесів, що відбуваються на поверхні. Це пов'язано з неоднорідністю потоків осаджуваних частинок по масі, відмінною енергією частинок та іншими факторами. Внаслідок існуючого розмаїття методів отримання та технологічних деталей, що призводять до змін властивостей плівок, на сьогодні відсутня точна інформація, що пов'язує технологічні параметри з властивостями отриманих плівок.

Завантажити цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11  12 



Реферат на тему: ОТРИМАННЯ ТА ДОСЛІДЖЕННЯ КРЕМНІЄВИХ СТРУКТУР З АЛМАЗНИМИ ТА АЛМАЗОПОДІБНИМИ ПЛІВКАМИ

BR.com.ua © 1999-2017 | Реклама на сайті | Умови використання | Зворотній зв'язок