Головна Головна -> Реферати українською -> Дисертації та автореферати -> ВПЛИВ ІЗОВАЛЕНТНОЇ ДОМІШКИ СВИНЦЮ НА ТЕРМІЧНЕ ТА РАДІАЦІЙНЕ ДЕФЕКТОУТВОРЕННЯ В КРЕМНІЇ

ВПЛИВ ІЗОВАЛЕНТНОЇ ДОМІШКИ СВИНЦЮ НА ТЕРМІЧНЕ ТА РАДІАЦІЙНЕ ДЕФЕКТОУТВОРЕННЯ В КРЕМНІЇ

Назва:
ВПЛИВ ІЗОВАЛЕНТНОЇ ДОМІШКИ СВИНЦЮ НА ТЕРМІЧНЕ ТА РАДІАЦІЙНЕ ДЕФЕКТОУТВОРЕННЯ В КРЕМНІЇ
Тип:
Реферат
Мова:
Українська
Розмiр:
18,14 KB
Завантажень:
90
Оцінка:
 
поточна оцінка 5.0


Скачати цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11  12 
НАЦІОНАЛЬНА АКАДЕМІЯ НАУК УКРАЇНИ
ІНСТИТУТ ФІЗИКИ
ВОЙТОВИЧ ВАСИЛЬ ВАСИЛЬОВИЧ
УДК 621.315.592
ВПЛИВ ІЗОВАЛЕНТНОЇ ДОМІШКИ СВИНЦЮ НА ТЕРМІЧНЕ ТА РАДІАЦІЙНЕ ДЕФЕКТОУТВОРЕННЯ В КРЕМНІЇ
01.04.07 - фізика твердого тіла
АВТОРЕФЕРАТ
дисертації на здобуття наукового ступеня
кандидата фізико-математичних наук
Київ - 2005


Дисертацією є рукопис
Робота виконана у відділі фізики радіаційних процесів
Інституту фізики НАН України
Науковий керівник: доктор фізико-математичних наук,
Крайчинський Анатолій Миколайович,
Інститут фізики НАН України,
провідний науковий співробітник
відділу фізики радіаційних процесів
Офіційні опоненти: доктор фізико-математичних наук, професор
Баранський Петро Іванович,
Інститут фізики напівпровідників НАН України,
головний науковий співробітник
кандидат фізико-математичних наук
Хіврич Володимир Ілліч,
Інститут ядерних досліджень НАН України,
старший науковий співробітник
Провідна установа: Київський Національний університет
імені Тараса Шевченка, фізичний факультет
Захист відбудеться “ 22 ” грудня 2005 р. о 1430 год. на засіданні
Спеціалізованої вченої ради Д 26.159.01 при Інституті фізики НАН України
за адресою:
03650, МСП, Київ-28, просп. Науки, 46.
З дисертацією можна ознайомитись в бібліотеці Інституту фізики НАН України.
Автореферат розісланий “ 21 ” листопада 2005 р.
Вчений секретар
Спеціалізованої вченої ради Чумак О.О.


ЗАГАЛЬНА ХАРАКТЕРИСТИКА РОБОТИ
Актуальність теми. Підчас виготовлення інтегральних мікросхем на базі кремнію їх піддають різним термообробкам. При цьому у кремнії генеруються термічні дефекти, які можуть суттєво впливати на його електричні параметри. Вивчення процесів генерації термічних дефектів дає можливість прогнозувати зміни, що відбуваються в базовому матеріалі в процесі виготовлення електронних приладів. Крім того, електронним приладам часто доводиться працювати в умовах підвищеної ядерної радіації під дією якої в кремнії також утворюються дефекти структури. В результаті цього прилади досить швидко виходять з робочого стану. Одним із можливих засобів, який призводить до покращення як термічної, так і радіаційної стабільності кремнію, є легування кремнію ізовалентними домішками С, Ge, Sn. Ці домішки є електрично нейтральними в кремнії і не впливають на його електричні параметри. Проте, вони суттєво впливають на термічне і радіаційне дефектоутворення. Цей вплив відбувається через внутрішні пружні поля, що виникають через невідповідність ковалентних радіусів атомів ізовалентних домішок (ІВД) і атомів кремнію. Оскільки ковалентний радіус атома вуглецю менший за ковалентний радіус атома кремнію, то навколо атомів вуглецю виникають локальні напруження розтягу. Протилежні за знаком напруження стиснення виникають в присутності ІВД Ge i Sn, які, навпаки, мають більший ковалентний радіус, ніж кремній. Під дією радіації в кристалі Si утворюються пари Френкеля – вакансії та власні міжвузловинні атоми, які також створюють деформації розтягу та стиснення відповідно. В результаті взаємодії деформацій протилежного знаку при високоенергетичному опроміненні Si атоми вуглецю ефективно взаємодіють з міжвузловинними атомами кремнію. Натомість атоми Ge i Sn являються ефективними стоками для вакансій.
При термообробці атоми вуглецю і кисню взаємодіють між собою, утворюючи при цьому різного роду С-О комплекси. З одного боку, це призводить до сповільнення генерації термодонорів, що утворюються при температурі 300_С (ТД-І), а з іншого до прискорення процесів преципітації кисню і утвореня термодонорів, які генеруються при температурі 600-800 С (ТД-ІІ). Атоми Ge i Sn сповільнюють як процеси утворення ТД-І, ТД-ІІ, так і процеси розпаду пересиченого твердого розчину кисню. У випадку з оловом це пояснюється утворенням метастабільних комплексів SnО.
Тому цікаво було отримати інформацію про вплив Pb на радіаційне та термічне дефектоутворення в кремнії. Адже свинець має найбільший ковалентний радіус серед ІВД кремнію. Саме від нього слід було очікувати максимального впливу як на термічне, так і на радіаційне дефектоутворення.

Завантажити цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11  12 



Реферат на тему: ВПЛИВ ІЗОВАЛЕНТНОЇ ДОМІШКИ СВИНЦЮ НА ТЕРМІЧНЕ ТА РАДІАЦІЙНЕ ДЕФЕКТОУТВОРЕННЯ В КРЕМНІЇ

BR.com.ua © 1999-2017 | Реклама на сайті | Умови використання | Зворотній зв'язок