Головна Головна -> Реферати українською -> Дисертації та автореферати -> МІКРОПЛАСТИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ ПРИПОВЕРХНЕВИХ ШАРІВ КРИСТАЛІВ КРЕМНІЮ

МІКРОПЛАСТИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ ПРИПОВЕРХНЕВИХ ШАРІВ КРИСТАЛІВ КРЕМНІЮ

Назва:
МІКРОПЛАСТИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ ПРИПОВЕРХНЕВИХ ШАРІВ КРИСТАЛІВ КРЕМНІЮ
Тип:
Реферат
Мова:
Українська
Розмiр:
41,90 KB
Завантажень:
141
Оцінка:
 
поточна оцінка 5.0


Скачати цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11  12  13  14  15  16  17  18  19  20  21  22  23  24  25  26  27 
ІНСТИТУТ ПРОБЛЕМ МАТЕРІАЛОЗНАВСТВА ІМ.І.М.ФРАНЦЕВИЧА
НАН УКРАЇНИ
СТЕБЛЕНКО ЛЮДМИЛА ПЕТРІВНА
УДК 548.4:439.216:532.2
МІКРОПЛАСТИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ
ПРИПОВЕРХНЕВИХ ШАРІВ КРИСТАЛІВ КРЕМНІЮ
Спеціальність 01.04.07 – фізика твердого тіла
АВТОРЕФЕРАТ
дисертації на здобуття наукового ступеня
доктора фізико-математичних наук
КИЇВ - 2004
Дисертацією є рукопис.
Робота виконана на кафедрі фізики металів фізичного факультету Київського національного університету імені Тараса Шевченка
Науковий консультант:
доктор фізико-математичних наук, професор,
член-кор. НАН України, завідувач кафедри фізики металів
Макара Володимир Арсенійович,
Київський національний університет імені Тараса Шевченка
Офіційні опоненти:
доктор фізико-математичних наук, професор,
член-кор. НАН України, завідувач відділу
Мільман Юлій Вікторович,
Інститут проблем матеріалознавства ім.І.М.Францевича НАН України
доктор фізико-математичних наук, професор, головний науковий співробітник
Баранський Петро Іванович,
Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
доктор фізико-математичних наук, професор, завідувач лабораторії
Цмоць Володимир Михайлович,
Дрогобицький державний педагогічний університет імені Івана Франка
Провідна установа – Чернівецький національний університет
імені Юрія Федьковича, кафедра напівпровідникової мікроелектроніки
Захист відбудеться “26” травня 2004 р. о 14:00 годині на засіданні спеціалізованої вченої ради Д 26.207.01 Інституту проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України за адресою: 03680, м.Київ-142, вул. Кржижанівського, 3
З дисертацією можна ознайомитись у бібліотеці Інституту проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України за адресою: 03680, м.Київ-142, вул. Кржижанівського, 3.
Автореферат розіслано 3 березня 2004 р.
Вчений секретар
спеціалізованої вченої ради Падерно Ю.Б.
ЗАГАЛЬНА ХАРАКТЕРИСТИКА РОБОТИ
Актуальність теми. Темпи зростання науково-технічного прогресу багато в чому визначаються успіхами напівпровідникового матеріалознавства, однією з центральних наукових проблем якого є проблема дослідження міцності і пластичності напівпровідникових матеріалів і пов’язана з нею проблема вивчення структурних недосконалостей кристалічної будови. Актуальність вивчення процесів пластичної деформації напівпровідникових кристалів визначається широким застосуванням їх в електроніці і оптоелектроніці, де пластична деформація виявляється неминучою при виготовленні та експлуатації робочих елементів. Саме тому вивчення рухливості дислокацій - процесу, який в значній мірі визначає пластичність кристалів в області малих деформацій, є незмінно актуальною задачею.
Матеріали мікроелектроніки, в тому числі кремній, в процесі їх одержання, а також в процесі виготовлення та роботи напівпровідникових приладів на їх основі піддають різноманітним видам обробки – механічним, хімічним, термічним, радіаційним та іншим. При таких зовнішніх впливах як тиск, деформація, опромінення, нагрів, охолодження і таке інше істотно змінюється характер домішкового стану та дислокаційної структури кристалів. Отже, будь-які зовнішні дії стимулюють еволюційні процеси, які визначають перехід дефектної структури з одних в інші термо- або метастабільні стани. Саме тому проблема дослідження впливу різних обробок на мікропластичні властивості кремнію, яка вирішується в даній роботі, є, безумовно, науково обґрунтованою і практично доцільною. Певні технологічні етапи виготовлення та експлуатації кремнійових структур супроводжуються впливом електронного збудження, пов’язаного з протіканням електричного струму та дією різноманітних фізичних полів: електричних, магнітних, тощо. Останнє може стимулювати зміну зарядового стану дефектів, їх міграцію і, в результаті, може приводити до зміни характеристик непружної деформації. В зв’язку з цим, здійснені в роботі дослідження взаємозв’язку між електронним збудженням і зміною мікропластичних властивостей є актуальними з точки зору розуміння структурної релаксації в кристалах кремнію.

Завантажити цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11  12  13  14  15  16  17  18  19  20  21  22  23  24  25  26  27 



Реферат на тему: МІКРОПЛАСТИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ ПРИПОВЕРХНЕВИХ ШАРІВ КРИСТАЛІВ КРЕМНІЮ

BR.com.ua © 1999-2017 | Реклама на сайті | Умови використання | Зворотній зв'язок