Головна Головна -> Реферати українською -> Дисертації та автореферати -> ПІДВИЩЕННЯ ТОЧНОСТІ РІЗАННЯ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ МОНОКРИСТАЛІВ ЗА РАХУНОК ЗМЕНШЕННЯ НЕРІВНОМІРНОСТІ НАТЯГУ КОРПУСА ВІДРІЗНОГО КРУГА

ПІДВИЩЕННЯ ТОЧНОСТІ РІЗАННЯ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ МОНОКРИСТАЛІВ ЗА РАХУНОК ЗМЕНШЕННЯ НЕРІВНОМІРНОСТІ НАТЯГУ КОРПУСА ВІДРІЗНОГО КРУГА

Назва:
ПІДВИЩЕННЯ ТОЧНОСТІ РІЗАННЯ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ МОНОКРИСТАЛІВ ЗА РАХУНОК ЗМЕНШЕННЯ НЕРІВНОМІРНОСТІ НАТЯГУ КОРПУСА ВІДРІЗНОГО КРУГА
Тип:
Реферат
Мова:
Українська
Розмiр:
16,37 KB
Завантажень:
130
Оцінка:
 
поточна оцінка 5.0


Скачати цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10 
ДЕРЖАВНИЙ ВИЩИЙ НАВЧАЛЬНИЙ ЗАКЛАД“
ДОНЕЦЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ ТЕХНІЧНИЙ УНІВЕРСИТЕТ”
ТАРАЩАНСЬКИЙ Марк Танкумович
УДК 621.922.34
ПІДВИЩЕННЯ ТОЧНОСТІ РІЗАННЯ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ МОНОКРИСТАЛІВ ЗА РАХУНОК ЗМЕНШЕННЯ НЕРІВНОМІРНОСТІ НАТЯГУ КОРПУСА ВІДРІЗНОГО КРУГА
Спеціальність 05.03.01 Процеси механічної обробки,
верстати та інструменти
Автореферат
дисертації на здобуття наукового ступеня
кандидата технічних наук
Донецьк 2007
Дисертацією є рукопис
Робота виконана на кафедрі “Інформатизації електронної промисловості” Східноукраїнського національного університету ім. В. Даля Міністерства освіти та науки України
Науковий керівник: | доктор технічних наук, професор
Єрошин Сергій Сергійович
Східноукраїнський національний університет ім. В. Даля, м. Луганськ завідувач кафедри “Інформатизації електронної промисловості”
Офіційні опоненти | доктор технічних наук, професор
Матюха Петро Григорович
Державний вищий навчальний заклад “Донецький національний технічний університет”, м. Донецьк
завідувач кафедри “Металорізальні верстати та інструменти”
кандидат технічних наук, доцент
Тарасюк Анатолій Петрович
Українська інженерно-педагогічна академія, м. Харків,
доцент кафедри “Виробничі процеси у машинобудуванні”
Провідна установа: | Донбаська державна машинобудівна академія, кафедра “Металорізальні верстати та інструменти” Міністерства освіти та науки України, м. Краматорськ
Захист відбудеться 26 квітня 2007 р. о 14.00 годині на засіданні спеціалізованої вченої ради Д 11.052.04 Державного вищого навчального закладу “Донецький національний технічний університет” за адресою: 83000, м. Донецьк, вул. Артема, 58, 6-й навчальний корпус, ауд. 6.202.
З дисертацією можна ознайомитись в бібліотеці Державного вищого навчального закладу “Донецький національний технічний університет” за адресою: Донецьк, вул. Артема, 58, 2-й навчальний корпус.
Автореферат розісланий 23 березня 2007 р.
Вчений секретар спеціалізованої
вченої ради, к.т.н., доцент Т.Г. Івченко
ЗАГАЛЬНА ХАРАКТЕРИСТИКА РОБОТИ
Актуальність теми. Алмазні відрізні круги із внутрішньою ріжучою крайкою є одним з найпоширеніших інструментів для різання монокристалів напівпровідникових матеріалів при виготовленні підкладок інтегральних схем. При різанні таких матеріалів як сапфір, карбід кремнію і корунди, внаслідок незначної різниці в жорсткостях оброблюваного та інструментального матеріалів і, тому високих силових і температурних навантажень, використання алмазних відрізних кругів залишається поза конкуренцією.
Різання злитків напівпровідникових матеріалів на пластини є однією з основних операцій у технологічному циклі виробництва напівпровідникових виробів, яка визначає якість і ефективність усього технологічного процесу. В особливій мері це проявляється в умовах продиктованої економічними обставинами тенденції збільшення діаметрів розрізуваних злитків і жорсткості вимог до якості поверхні пластин.
Багаторічний досвід застосування алмазних відрізних кругів показав, що основними факторами, які впливають на точність різання та якість поверхні пластин, ширину пропила (багато в чому визначаючу економічність процесу різання), і стійкість інструмента, є величина і ступінь рівномірності натягу відрізного круга. Недостатній натяг приводить до виникнення дефектів геометрії пластин (неплощинності, прогину, розкиду по товщині) і збільшенню ширини пропилу, а надмірний натяг – до швидкого виходу круга з ладу через пластичні деформації і розрив корпуса. Нерівномірність натягу приводить до нерівномірного зношування відрізних кіл, до великого розкиду параметрів точності відрізуваних пластин і збільшенню ширини пропила.
В умовах реального виробництва, коли основні характеристики процесу різання злитків на пластини визначені існуючою технологією і наявним на виробництві обладнанням, єдиними параметрами, зміною яких можна впливати на якість кінцевої продукції процесу різання, є величина натягу відрізного круга і ступінь рівномірності натягу.

Завантажити цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10 



Реферат на тему: ПІДВИЩЕННЯ ТОЧНОСТІ РІЗАННЯ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ МОНОКРИСТАЛІВ ЗА РАХУНОК ЗМЕНШЕННЯ НЕРІВНОМІРНОСТІ НАТЯГУ КОРПУСА ВІДРІЗНОГО КРУГА

BR.com.ua © 1999-2017 | Реклама на сайті | Умови використання | Зворотній зв'язок