Головна Головна -> Реферати українською -> Дисертації та автореферати -> УДОСКОНАЛЕННЯ ТЕХНОЛОГІЇ ВИРОЩУВАННЯ ЗЛИВКІВ КРЕМНІЮ З РІВНОМІРНИМ РОЗПОДІЛОМ КИСНЮ

УДОСКОНАЛЕННЯ ТЕХНОЛОГІЇ ВИРОЩУВАННЯ ЗЛИВКІВ КРЕМНІЮ З РІВНОМІРНИМ РОЗПОДІЛОМ КИСНЮ

Назва:
УДОСКОНАЛЕННЯ ТЕХНОЛОГІЇ ВИРОЩУВАННЯ ЗЛИВКІВ КРЕМНІЮ З РІВНОМІРНИМ РОЗПОДІЛОМ КИСНЮ
Тип:
Реферат
Мова:
Українська
Розмiр:
9,64 KB
Завантажень:
330
Оцінка:
 
поточна оцінка 5.0


Скачати цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6 
ХАРКІВСЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ УНІВЕРСИТЕТ РАДІОЕЛЕКТРОНІКИ
ПРИТЧИН СЕРГІЙ ЕМІЛЬОВИЧ
УДК 621.315.59:546.28
УДОСКОНАЛЕННЯ ТЕХНОЛОГІЇ ВИРОЩУВАННЯ ЗЛИВКІВ
КРЕМНІЮ З РІВНОМІРНИМ РОЗПОДІЛОМ КИСНЮ
Спеціальність 05.27.06 – Технологія, обладнання та виробництво електронної техніки
АВТОРЕФЕРАТ
дисертації на здобуття наукового ступеня
кандидата технічних наук
Харків – 2003


Дисертацією є рукопис.
Робота виконана в Кременчуцькому інституті економіки та нових технологій.
Науковий керівник - доктор технічних наук, професор, Оксанич Анатолій Петрович,
Кременчуцький інститут економіки і нових технологій,
завідувач кафедри комп'ютеризованих систем автоматики.
Офіційні опоненти - доктор фізико-математичних наук, професор,
Бих Анатолій Іванович, Харківський національний університет радіоелектроніки, завідувач кафедри біомедичних електронних приладів та систем.
доктор технічних наук, професор, Костенко Віталій Леонідович, Одеський національний політехнічний університет, професор кафедри інформаційних систем.
Провідна установа - Науково-технологічний концерн “Інститут монокристалів” НАН України, Науково-технічний центр радіаційного приладобудування,
м. Харків.
Захист відбудеться “_10__” _грудня___ 2003 р. о _15__ годині на засіданні спеціалізованої вченої ради Д 64.052.03 при Харківському національному університеті радіоелектроніки за адресою: 61166 м. Харків, пр. Леніна, 14, ауд.13.
З дисертацією можна ознайомитися у бібліотеці Харківського національного університету радіоелектроніки, за адресою: 61166, м. Харків, пр. Леніна,14.
Автореферат розісланий “_8__” ___листопада___ 2003р.
Вчений секретар
спеціалізованої вченої ради Г.І.Чурюмов


ЗАГАЛЬНА ХАРАКТЕРИСТИКА РОБОТИ
Актуальність теми. Рівень розвитку промисловості значною мірою визначається рівнем розвитку твердотільної електроніки, що базується на напівпровідникових матеріалах. Основний обсяг виробництва серед напівпровідникових матеріалів припадає на кремній. Зливки монокристалічного кремнію для мікроелектроніки і приладобудування в основному одержують методом Чохральського, хоча при цьому кремній насичується киснем із кварцового тигля.
Проблема кисню в кремнії протягом усього часу розвитку ростової технології залишається вельми актуальною. Кисень у кремнії справляє як позитивний, так і негативний вплив на якість зливків. Зокрема, кисень може розглядатися як легувальна домішка, вміст та розподіл якої в об’ємі зливка повинен нормуватися. Однак питання, які стосуються механізму розподілу кисню у зливках великого діаметра та впливу технологічних параметрів вирощування на розподіл кисню у зливках, ще слабо вивчені.
Для вирішення задач оптимізації технології вирощування зливків необхідно визначити механізм впровадження і розподілу кисню у зливках кремнію великого діаметра, оцінити вплив на цей механізм технологічних параметрів (швидкість вирощування зливка, частота обертання тигля).
Провідні закордонні фірми, виробники зливків кремнію, перейшли до випуску продукції з однорідним розподілом кисню і заданим дискретним рівнем його концентрації. У підприємств України, що виробляють зливки кремнію, дотепер немає технологій, які дозволяли б забезпечувати аналогічне нормування кисню. Тому тема дисертації, спрямована на вирішення цієї задачі, є актуальною як з наукової, так і з практичної точки зору. Удосконалення технології вирощування зливків з рівномірним розподілом кисню дозволить збільшити експортний потенціал і привести характеристики якості зливків у відповідність до світових вимог.
Таким чином, суть наукової задачі полягає в удосконаленні технології вирощування зливків з рівномірним розподілом кисню на основі наукового обґрунтування впливу технологічних процесів на механізм розподілу кисню у зливках, науковому обґрунтуванні апаратурних рішень.
Зв’язок роботи з науковими програмами, планами та темами. Основні положення та результати роботи були використані у госпдоговірній НДДКР “Автоматизированная система управления процессом выращивания монокристаллов кремния методом Чохральского АСУ “Кремень”, госпдоговір № 4/20 ВП від 30.

Завантажити цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6 



Реферат на тему: УДОСКОНАЛЕННЯ ТЕХНОЛОГІЇ ВИРОЩУВАННЯ ЗЛИВКІВ КРЕМНІЮ З РІВНОМІРНИМ РОЗПОДІЛОМ КИСНЮ

BR.com.ua © 1999-2017 | Реклама на сайті | Умови використання | Зворотній зв'язок