Головна Головна -> Реферати українською -> Дисертації та автореферати -> АНАЛІЗ ВПЛИВУ ТЕПЛОВИХ УМОВ НА СТРУКТУРНУ ДОСКОНАЛІСТЬ МОНОКРИСТАЛІВ КРЕМНІЮ І РОЗРОБКА ТЕПЛОВОГО ВУЗЛА ДЛЯ ВИРОЩУВАННЯ БЕЗДЕФЕКТНИХ ЗЛИВКІВ У ПРОМИСЛОВИХ УМОВАХ

АНАЛІЗ ВПЛИВУ ТЕПЛОВИХ УМОВ НА СТРУКТУРНУ ДОСКОНАЛІСТЬ МОНОКРИСТАЛІВ КРЕМНІЮ І РОЗРОБКА ТЕПЛОВОГО ВУЗЛА ДЛЯ ВИРОЩУВАННЯ БЕЗДЕФЕКТНИХ ЗЛИВКІВ У ПРОМИСЛОВИХ УМОВАХ

Назва:
АНАЛІЗ ВПЛИВУ ТЕПЛОВИХ УМОВ НА СТРУКТУРНУ ДОСКОНАЛІСТЬ МОНОКРИСТАЛІВ КРЕМНІЮ І РОЗРОБКА ТЕПЛОВОГО ВУЗЛА ДЛЯ ВИРОЩУВАННЯ БЕЗДЕФЕКТНИХ ЗЛИВКІВ У ПРОМИСЛОВИХ УМОВАХ
Тип:
Реферат
Мова:
Українська
Розмiр:
14,81 KB
Завантажень:
338
Оцінка:
 
поточна оцінка 5.0


Скачати цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10 
КРЕМЕНЧУЦЬКИЙ УНІВЕРСИТЕТ ЕКОНОМІКИ,
ІНФОРМАЦІЙНИХ ТЕХНОЛОГІЙ І УПРАВЛІННЯ
Вашерук Олександр Васильович
УДК 669.162.238+661.68
АНАЛІЗ ВПЛИВУ ТЕПЛОВИХ УМОВ НА СТРУКТУРНУ ДОСКОНАЛІСТЬ МОНОКРИСТАЛІВ КРЕМНІЮ І РОЗРОБКА ТЕПЛОВОГО ВУЗЛА ДЛЯ ВИРОЩУВАННЯ БЕЗДЕФЕКТНИХ ЗЛИВКІВ У ПРОМИСЛОВИХ УМОВАХ
Спеціальність 05.27.06 – Технологія, обладнання та виробництво електронної техніки
АВТОРЕФЕРАТ
дисертації на здобуття наукового ступеня
кандидата технічних наук
Кременчук – 2006
Дисертація є рукописом.
Робота виконана на кафедрі комп'ютеризованих систем автоматики Кременчуцького університету економіки, інформаційних технологій і управління
Науковий керівник доктор технічних наук, професор
Оксанич Анатолій Петрович,
Кременчуцький університет економіки, інформаційних технологій і управління, завідувач кафедри комп'ютеризованих систем автоматики
Офіційні опоненти доктор технічних наук, професор
Стороженко Володимир Олександрович,
Харківський національний університет радіоелектроніки,
завідувач кафедри фізики
кандидат технічних наук, доцент
Орел Володимир Іванович,
Кременчуцький університет економіки, інформаційних технологій і управління, завідувач кафедри електронного матеріалознавства, електротехнічних та комп’ютеризованих систем
Провідна установа - Науково-виробниче підприємство “Карат”, м. Львів
Захист відбудеться “26” травня 2006 р. о 1200 годині на засіданні спеціалізованої вченої ради К45.124.01 при Кременчуцькому університеті економіки, інформаційних технологій і управління за адресою: м. Кременчук, вул. Пролетарська, 24/37, аудит. 1301.
З дисертацією можна ознайомитися в бібліотеці Кременчуцького університету економіки, інформаційних технологій і управління за адресою: м. Кременчук, вул. Пролетарська, 24/37.
Автореферат розісланий “21” квітня 2006р.
Вчений секретар спеціалізованої вченої ради С. Е. Притчин
ЗАГАЛЬНА ХАРАКТЕРИСТИКА РОБОТИ
Актуальність теми. Розв'язання проблеми підвищення якості монокристалів кремнію вважається однією з першочергових задач розвитку технології напівпровідникової електроніки. За рахунок підвищення структурної досконалості монокристалів кремнію можуть бути задоволені потреби сучасного напівпровідникового приладобудування: збільшення ступеня інтеграції, зменшення допусків на параметри мікросхем, підвищення виходу якісних напівпровідникових приладів.
Значна частина монокристалів кремнію для напівпровідникового виробництва вирощується методом Чохральського. Використання методу Чохральського зумовлене можливістю реалізації підвищених вимог до структурної досконалості і збільшення розмірів вирощуваних монокристалів. Збільшення діаметру вирощуваних монокристалів кремнію при незмінному тепловому вузлі викликає порушення теплового балансу на границі поділу розплав – кристал в ростовій системі, що призводить до порушення структурної досконалості вирощуваного монокристалу. На структурну досконалість монокристалів кремнію впливає температурне поле в монокристалі, яке пов'язане з температурним полем в розплаві і з характером тепловідводу від монокристалу.
Аналізуючи механізми формування структурної досконалості у вирощуваних монокристалах кремнію, можна зробити висновок, що вони зумовлені, головним чином, наступними чинниками: недосконалістю конструкції теплового вузла промислового ростового устаткування; нестабільністю швидкості кристалізації через коливання температури в розплаві; інтенсивністю конвективних потоків в розплаві. В основному формування структурних неоднорідностей у вирощуваному монокристалі кремнію викликане тепловими умовами, несиметричністю теплового поля і коливаннями швидкості переміщення монокристалу відносно теплового вузла. Тому проблема формування теплових умов в зоні росту протягом всього часу існування технології вирощування монокристалів була і залишається вельми актуальною.
Розподіл теплового потоку в ростовій установці і вирощуваному монокристалі суттєво залежить від маси завантаженої шихти, форми і розмірів тигля, способу нагріву, системи екранування.

Завантажити цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10 



Реферат на тему: АНАЛІЗ ВПЛИВУ ТЕПЛОВИХ УМОВ НА СТРУКТУРНУ ДОСКОНАЛІСТЬ МОНОКРИСТАЛІВ КРЕМНІЮ І РОЗРОБКА ТЕПЛОВОГО ВУЗЛА ДЛЯ ВИРОЩУВАННЯ БЕЗДЕФЕКТНИХ ЗЛИВКІВ У ПРОМИСЛОВИХ УМОВАХ

BR.com.ua © 1999-2017 | Реклама на сайті | Умови використання | Зворотній зв'язок