Головна Головна -> Реферати українською -> Дисертації та автореферати -> Наукове обгрунтування і розробка технології монокристалів кремнію методом спеціальної електрометалургії (безтигельною зонною плавкою)

Наукове обгрунтування і розробка технології монокристалів кремнію методом спеціальної електрометалургії (безтигельною зонною плавкою)

Назва:
Наукове обгрунтування і розробка технології монокристалів кремнію методом спеціальної електрометалургії (безтигельною зонною плавкою)
Тип:
Реферат
Мова:
Українська
Розмiр:
24,95 KB
Завантажень:
275
Оцінка:
 
поточна оцінка 5.0


Скачати цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11  12  13  14  15  16 
Запорізька державна інженерна академія
ЧЕРВОНИЙ Іван Федорович
УДК 621.315
Наукове обгрунтування і розробка технології
монокристалів кремнію методом спеціальної
електрометалургії (безтигельною зонною плавкою)
05.16.03 - Металургія кольорових металів
АВТОРЕФЕРАТ
дисертації на здобуття наукового ступеня доктора технічних наук
Запоріжжя, 1999 р.
Дисертацією є рукопис.
Робота виконана на запорізькому державному титано-магнієвому
комбінаті Міністерства промислової політики України
Науковий консультант: немає.
Офіційні опоненти: дтн, професор, чл.-кор НАН України Лакомський Віктор Йосипович, Інститут електрозварювання ім.Є.О.Патона НАН України, головний науковий співробітник;
-дтн, професор, Мокрицький Вадим Анатолійович, Одеський державний технічний університет Міністерства освіти України, завідувач кафедри;
-дхн Прутцков Дмитро Володимирович, Державний науково-дослідний та проектний інститут титану Міністерства промислової політики України, провідний науковий співробітник .
Провідна установа - Державна металургійна академія України Міністерства освіти України, кафедра електрометалургії, м.Дніпропетровськ
Захист відбудеться 21.10.1999р о 14 год на засіданні спеціалізованої вченої ради Д 17.100.02 Запорізької державної інженерної академії, м.Запоріжжя, пр.Леніна, 226
З дисертацією можна ознайомитись в бібліотеці Запорізької державної інженерної академії, м.Запоріжжя, пр.Леніна,226
Автореферат розіслано 7.09.99р
Вчений секретар спеціалізованої
вченої ради Г.О.Колобов
ЗАГАЛЬНА ХАРАКТЕРИСТИКА РОБОТИ.
Вступ. Розвиток таких найважливіших галузей науки і техніки, як електроніка, електротехніка, енергетика, включаючи атомну, автомобілебудування та ін. тісно пов'язаний з успіхами в області виробництва напівпровідникових матеріалів і, зокрема, напівпровідникового кремнію. На основі кремнію в нинішній час виробляється до 95% усіх видів напівпровідникових приладів, в тому числі підсилювачів і перетворювачів електричного струму, інтегральних схем, фотоперетворювачів та інших. З кожним роком використання напівпровідникового кремнію безперервно збільшується. Так, якщо в 1985 році споживання монокристалічного кремнію складало 2000 т, то в 1997 році – приблизно 12000 т, при цьому полікристалічного кремнію було вироблено 16000 т [1]. Існуючі темпи росту споживання монокристалічного кремнію збережуться у найближчі роки, а до 2010 року кремній залишиться основним напівпровідниковим матеріалом [2]. Промислові підприємства вирощують монокристали кремнію двома методами: методом Чохральського (8090 % від загального обсягу виробництва) та безтигельною зонною плавкою (1020 %). Безтигельна зонна плавка (БЗП) є різновидом методів спеціальної електрометалургії і передбачає використання індукційного нагріву. Спорідненість технологічних процесів БЗП і спеціальної електрометалургії ґрунтується на фізико-хімічних законах і положеннях, розвинених в класичних роботах В. Пфанна, в роботах наукових шкіл академіків НАН України Б. І. Медовара, В. А. Єфимова (Інститут електрозварювання ім. Є. О. Патона), академіка РАН Н. А. Ватоліна, чл-кор. АН СРСР Б. А. Сахарова (інститут ДІРІДМЕТ, м. Москва), д. т. н. В. В. Добровенського та ін. З використанням БЗП вдається отримати найбільш чисті і структурно досконалі монокристали кремнію.
На період початку робіт автора по даній темі (1974 рік) вітчизняною промисловістю вироблявся монокристалічний кремній діаметром 45-65 мм, комплекс їх електрофізичних параметрів поступався зарубіжним аналогам, а вихід придатного знаходився на низькому рівні (25-30%). В той же час приладобудування наполегливо вимагало організації виробництва методом БЗП монокристалів кремнію діаметром 105 мм. Створення технології та обладнання, що дозволяють виробляти з високим виходом у готову продукцію монокристали кремнію такого діаметру із комплексом високих значень електрофізичних та структурних властивостей, багато в чому стримувалося недостатніми знаннями в області залежності електрофізичних властивостей монокристалів від умов плавки, природи та механізму утворення у бездислокаційних монокристалах кремнію мікродефектів та ін.

Завантажити цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11  12  13  14  15  16 



Реферат на тему: Наукове обгрунтування і розробка технології монокристалів кремнію методом спеціальної електрометалургії (безтигельною зонною плавкою)

BR.com.ua © 1999-2017 | Реклама на сайті | Умови використання | Зворотній зв'язок