Головна Головна -> Реферати українською -> Дисертації та автореферати -> СТРУКТУРА ТА ФІЗИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ БОРИДНИХ ПЛІВОК, ОТРИМАНИХ ВЧ-МАГНЕТРОННИМ РОЗПИЛЕННЯМ

СТРУКТУРА ТА ФІЗИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ БОРИДНИХ ПЛІВОК, ОТРИМАНИХ ВЧ-МАГНЕТРОННИМ РОЗПИЛЕННЯМ

Назва:
СТРУКТУРА ТА ФІЗИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ БОРИДНИХ ПЛІВОК, ОТРИМАНИХ ВЧ-МАГНЕТРОННИМ РОЗПИЛЕННЯМ
Тип:
Реферат
Мова:
Українська
Розмiр:
18,68 KB
Завантажень:
429
Оцінка:
 
поточна оцінка 5.0


Скачати цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11 
НАЦІОНАЛЬНА АКАДЕМІЯ НАУК УКРАЇНИ
Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України
Терпій Дмитро Миколайович
УДК 546.471.2.539.23
СТРУКТУРА ТА ФІЗИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ БОРИДНИХ ПЛІВОК, ОТРИМАНИХ ВЧ-МАГНЕТРОННИМ
РОЗПИЛЕННЯМ
01.04.07 – фізика твердого тіла
Автореферат
дисертації на здобуття наукового ступеня кандидата фізико-математичних наук
Донецьк – 2004


Дисертація є рукописом.
Роботу виконано на кафедрі фізики твердого тіла та фізичного матеріалознавства Донецького національного університету.
Науковий керівник: доктор фізико-математичних наук, професор,
Ігнатенко Петро Іванович,
професор кафедри фізики твердого тіла та фізичного матеріалознавства Донецького національного університету МОіН України, м. Донецьк.
Офіційні опоненти: доктор фізико-математичних наук, професор,
Пугачов Анатолій Тарасович,
завідувач кафедрою фізики металів і напівпровідників Національного технічного університету “Харківський політехнічний інститут” МОіН України, м. Харків.
доктор фізико-математичних наук, професор,
Юрченко Володимир Михайлович,
завідувач відділу електронних властивостей матеріалів
Донецького фізико-технічного інституту ім. О.О. Галкіна НАН України, м. Донецьк.
Провідна установа: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України. 03680 Київ-142, пр. Академіка Вернадського, 36.
Захист відбудеться “ 27 ”_січня_ 2005 р. о _1000_ годині на засіданні спеціалізованої ради Д 11.184.01 при Донецькому фізико-технічному інституті ім. О.О. Галкіна НАН України за адресою: 83114, м. Донецьк, вул. Р. Люксембург, 72.
З дисертацією можна ознайомитись у науковій бібліотеці Донецького фізико-технічного інституту ім. О. О. Галкіна НАН України.
Автореферат розіслано “ ”_грудня_ 2004 р.
Вчений секретар спеціалізованої ради
кандидат фізико-математичних наук Т.М. Тарасенко


ЗАГАЛЬНА ХАРАКТЕРИСТИКА РОБОТИ
Актуальність теми. Останнім часом все більшого поширення набувають тонкі плівки і функціональні покриття, що отримані методами фізичного осадження; найбільш розповсюдженими, досконалими та екологічно чистими з них є іонно-плазмові методи. Починаючи з 90-х років, зусилля багатьох дослідницьких груп зосереджено на створенні плівок наноструктурних матеріалів на основі фаз вторгнення [1], що мають ряд привабливих фізико-механічних властивостей: надвисоку твердість (40-70 ГПа), разом з досить високою пластичністю. Також перспективним напрямком є одержання епітаксійних шарів на кристалічних підкладках. Останнім часом, за згаданою тематикою, з'явилась череда публікацій, автори яких приводять експериментальні результати властивостей плівок (переважно систем Ti – B, Ti –N і Cr – B, Cr – N) тотожного складу, отриманих за допомогою аналогічних систем осадження [2-8]. При цьому мають місце досить великі розбіжності (більш ніж удвічі) багатьох властивостей. Така ситуація обумовлена тим, що більшість дослідників, на жаль, не приділяють належної уваги режимам розпилення мішені разом з умовами осадження покриття.
Цікавим і актуальним питанням є також одержання більш детальної інформації про властивості епітаксійних і наноструктурних плівок, отриманих на основі таких мало вивчених (у стані покрить або плівок) на дійсний час матеріалів, як VB2 і ZrВ2.
Зв'язок роботи з науковими програмами, планами, темами. Робота виконана на кафедрі “Фізики твердого тіла і фізичного матеріалознавства” ДонНУ, відповідно до плану роботи аспіранта; а також у рамках держбюджетних науково-дослідних робіт відповідно до координаційних планів МОіН України (номера держреєстрації проектів: № U001544 і № U003509).
Об'єктами дослідження даної роботи є плівки, отримані іонно-плазмовим розпиленням (ІПР) мішеней, які спечені з порошків ZrВ2 і VB2.
Предмет дослідження – зміни процесів фазоутворення, механізму зростання і властивостей плівок під впливом атомарних, іонно-плазмових потоків, які формуються розпилювальною системою (РС), а також умов конденсації.
Мета і задачі дослідження. Мета роботи полягає у вивченні структури і властивостей плівок тугоплавких боридів, в залежності від характеристик потоків часток що конденсуються, зміни яких, в свою чергу, викликані особливостями процесів розпилення у системах ІПР.

Завантажити цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11 



Реферат на тему: СТРУКТУРА ТА ФІЗИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ БОРИДНИХ ПЛІВОК, ОТРИМАНИХ ВЧ-МАГНЕТРОННИМ РОЗПИЛЕННЯМ

BR.com.ua © 1999-2017 | Реклама на сайті | Умови використання | Зворотній зв'язок