Головна Головна -> Реферати українською -> Дисертації та автореферати -> ДІАГНОСТИКА поверхні ТВЕРДОГО ТІЛА ПРИ умовІ повного зовнішнього відбивання Х-променів

ДІАГНОСТИКА поверхні ТВЕРДОГО ТІЛА ПРИ умовІ повного зовнішнього відбивання Х-променів

Назва:
ДІАГНОСТИКА поверхні ТВЕРДОГО ТІЛА ПРИ умовІ повного зовнішнього відбивання Х-променів
Тип:
Реферат
Мова:
Українська
Розмiр:
16,93 KB
Завантажень:
329
Оцінка:
 
поточна оцінка 5.0


Скачати цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11 
ЧЕРНІВЕЦЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ УНІВЕРСИТЕТ
ІМЕНІ ЮРІЯ ФЕДЬКОВИЧА
БАЛОВСЯК
СЕРГІЙ ВАСИЛЬОВИЧ
УДК 539.261
ДІАГНОСТИКА поверхні ТВЕРДОГО ТІЛА
ПРИ умовІ повного зовнішнього відбивання
Х-променів
Спеціальність 01.04.07 – фізика твердого тіла
Автореферат
дисертації на здобуття наукового ступеня
кандидата фізико-математичних наук
Чернівці – 2003


Дисертацією є рукопис
Робота виконана на кафедрі фізики твердого тіла Чернівецького
національного університету імені Юрія Федьковича
Міністерства освіти і науки України.
Науковий керівник: доктор фізико-математичних наук, професор
Фодчук Ігор Михайлович,
Чернівецький національний університет
імені Юрія Федьковича
професор кафедри фізики твердого тіла.
Офіційні опоненти: член-кореспондент НАН України,
доктор фізико-математичних наук, професор
Молодкін Вадим Борисович,
Інститут металофізики НАН України, м.Київ,
заступник директора.
доктор фізико-математичних наук, професор
Максимяк Петро Петрович,
Чернівецький національний університет
імені Юрія Федьковича
професор кафедри кореляційної оптики.
Провiдна органiзацiя: Інститут фізики НАН України (м.Київ).
Захист відбудеться 26.09.2003 р. в 13-30 годин на засіданні спеціалізованої вченої ради Д76.051.01 при Чернівецькому національному університеті імені Юрія Федьковича за адресою: 58012, м.Чернівці, вул.Коцюбинського, 2.
З дисертацією можна ознайомитись у бібліотеці Чернівецького національного університету імені Юрія Федьковича (58012, м.Чернівці, вул.Лесі Українки, 23).
Автореферат розісланий 22.08.2003 р.
Вчений секретар
спеціалізованої вченої ради ________ Курганецький М.В.


Загальна характеристика роботи
Актуальність теми. Для сучасної мікро- та оптоелектроніки характерно використання все більш тонких шарів матеріалів і перехід від мікро- до нанометрових розмірів окремих елементів. Активні області таких виробів формуються в дуже тонких шарах, властивості яких (склад, структура, шорсткість границь розділу) визначають характеристики готових приладів, тому задача визначення властивостей поверхневих шарів твердого тіла має велике практичне значення. Для розв'язання цієї задачі методи дослідження поверхні повинні бути по можливості неруйнуючими і дозволяти отримувати дані про структуру та шорсткість приповерхневих шарів товщиною від кількох мікрон до окремих моношарів.
До перспективних неруйнівних методів дослідження параметрів поверхні, які відзначаються експресністю і високою чутливістю, відносяться методи дво- та трикристальної рефлектометрії з використанням явища повного зовнішнього відбивання (ПЗВ) Х-променів. Вказані методи є одними з небагатьох, що дозволяють проводити дослiдження поверхонь вищих класiв чистоти з середньоарифметичною висотою нерівностей нм як моно-, так і полікристалів, а також аморфних об'єктів. Висока роздільна здатність методів ПЗВ досягається завдяки короткій довжині хвилі (0,01-0,3нм) Х-променів. На даний час методи Х-променевої рефлектометрії по точності поступаються такому високоточному методу дослідження поверхні, як атомно-силова мікроскопія (АСМ), через порівняно низьку роздільну здатність детекторів Х-променів. Перевагою ж методів ПЗВ є значно менша технічна складність і можливість отримання інформації про шорсткість поверхні для відносно великих за площею зразків.
Серед методів ПЗВ Х-променів одними з найбільш інформативних при дослідженні шорсткості поверхонь є метод двокристальної рефлектометрії (інтегральних кривих (ІК) ПЗВ) та метод трикристальної рефлектометрії (диференційних кривих (ДК) ПЗВ). Методом інтегральних кривих за характером розсіяння відбитих променів можливо, наприклад, визначати товщинні зміни густини приповерхневих шарів та шорсткість міжшарових границь у нанорозмірних епітаксіальних системах. За допомогою методу диференційних кривих ПЗВ параметри шорсткості поверхні визначаються на основі аналізу кутового розподілу інтенсивності відбитих променів та в результаті розв'язку обернених задач. В силу неоднозначності розв'язку обернених задач виникає проблема коректності результатів. Дану проблему можна розв'язати, якщо використати взаємодоповнюючі методи дослідження поверхневого мікрорельєфу, наприклад, методи ПЗВ Х-променів і атомно-силової мікроскопії, та відповідне комп'ютерне моделювання кривих ПЗВ.

Завантажити цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11 



Реферат на тему: ДІАГНОСТИКА поверхні ТВЕРДОГО ТІЛА ПРИ умовІ повного зовнішнього відбивання Х-променів

BR.com.ua © 1999-2017 | Реклама на сайті | Умови використання | Зворотній зв'язок