Головна Головна -> Реферати українською -> Дисертації та автореферати -> Удосконалення еліпсометричного методу для атестації модифікованих електронним променем поверхонь оптичногО скла

Удосконалення еліпсометричного методу для атестації модифікованих електронним променем поверхонь оптичногО скла

Назва:
Удосконалення еліпсометричного методу для атестації модифікованих електронним променем поверхонь оптичногО скла
Тип:
Реферат
Мова:
Українська
Розмiр:
15,45 KB
Завантажень:
125
Оцінка:
 
поточна оцінка 5.0


Скачати цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10 
Національний технічний університет України“
Київський політехнічний інститут”
Поздєєв Сергій Валерійович
УДК 535.347
Удосконалення еліпсометричного методу
для атестації модифікованих електронним променем поверхонь оптичногО скла
05.11.13 – прилади і методи контролю та визначення складу речовин
Автореферат
дисертації на здобуття наукового ступеня
кандидата технічних наук
Черкаси - 2002
Дисертацією є рукопис.
Робота виконана в Черкаському державному технологічному університеті Міністерства освіти і науки України.
Науковий керівник - кандидат хімічних наук, професор,
Дубровська Галина Миколаївна,
завідуюча міжкафедральною лабораторією матеріалознавства Черкаського державного технологічного університету
Офіційні опоненти:
- доктор технічних наук, доцент Порєв Володимир Андрійович, професор кафедри виробництва приладів Київського національного технічного університету України “КПІ”;
- доктор фізико-математичних наук, професор Семененко Альберт Іванович, професор кафедри математичного аналізу і методів оптимізації Сумського державного університету.
Провідна установа -
Національний технічний університет “Харківський політехнічний інститут”, кафедра загальної та експериментальної фізики
Захист відбудеться “_12_”_вересня_ 2002 р. о 15 годині на засіданні спеціалізованої вченої ради Д 26.002.18 при Національному технічному університеті України ”Київський політехнічний інститут” за адресою: 03056 м. Київ, просп. Перемоги, 37, корп. 1, ауд. 293.
З дисертацією можна ознайомитися в бібліотеці Національного технічного університету України ”Київський політехнічний інститут” за адресою: 03056 м. Київ, просп. Перемоги 37, корп. 10.
Автореферат розісланий 09.07.2002 р.
Вчений секретар
спеціалізованої вченої ради
Д 26.002.18 Бурау Н.І
Загальна характеристика роботи
Актуальність теми. Під час розвитку технології в сучасних галузях техніки, якими є інтегральна оптика та мікроелектроніка, необхідне вдосконалення елементної бази для досягненням більш високого рівня її якості. Важливою проблемою при цьому є створення теоретичних засад технології виготовлення підкладок з оптичного скла. Елементи інтегральної оптики та мікроелектроніки, що виготовляються із застосуванням поверхневої електронно-променевої обробки (ЕПО), мають нові унікальні властивості та є перспективними для поліпшення роботи пристроїв цих галузей.
Для застосування технології ЕПО в умовах виробництва необхідна розробка методів і засобів контролю та визначення оптичних властивостей поверхневих шарів порядку десятків та одиниць нанометрів силікатних стекол після ЕПО, а також їх зв'язку зі структурними перетвореннями в цих шарах. Крім того, раніше не досліджувався вплив ЕПО на оптичні та структурні властивості тонких металевих покриттів на підкладках, що виготовлені з оптичних силікатних стекол.
Підкладки з оптичних стекол К-8, К-108, ТФ-5 та ТФ-110 після поверхневої ЕПО не лише мають малу величину мікронерівностей (меншу за 50 нм), а й можуть зберігати ці властивості після осадження на них металевих та аморфних плівок і в умовах експлуатації. При цьому тонкі (менше за 1 мкм) поверхневі шари оброблених зразків зазнають певних фізико-хімічних змін, що позначаються на їх якості. Дослідження перетворень у поверхневих шарах і мікрорельєфу поверхні такого рівня ускладнений внаслідок обмеженості можливостей існуючих методів. Чутливість, інформативність, точність, дешевизна, простота вимірювань ставить метод еліпсометрії поза конкуренцією з іншими методами.
З огляду на все вищезазначене, розробка еліпсометричних методів визначення і контролю параметрів і структури поверхні оптичних стекол при їх високій чутливості до структурних перетворень у тонких шарах є актуальною. Також актуальним є створення більш ефективних і продуктивних еліпсометричних методів для визначення та контролю якості поверхонь елементів при їх серійному виробництві.
Зв'язок роботи з науковими програмами, планами, темами. Актуальність теми дисертації підтверджується тим, що вона пов'язана з виконанням робіт за такими програмами:
1) міжвузівською науково-технічною програмою № 8 Держкомосвіти “Дифузійне формування структури, фазовий склад та фізичні властивості перспективних металевих матеріалів, покриттів та тонких шарів”;
2) 114-00 “Створення континуальних механіко-математичних моделей та основ аналізу функціональних параметрів і синтезу п'єзоелектричних перетворювачів поліморфного типу, у тому числі з аморфними та алмазоподібними плівками” (Розділ ІІ);
3) міжвузівською науково-технічною програмою № 43 Держкомосвіти “Високоефективні технологічні процеси в машинобудуванні”.

Завантажити цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10 



Реферат на тему: Удосконалення еліпсометричного методу для атестації модифікованих електронним променем поверхонь оптичногО скла

BR.com.ua © 1999-2017 | Реклама на сайті | Умови використання | Зворотній зв'язок