Головна Головна -> Реферати українською -> Дисертації та автореферати -> ОСНОВНІ ШЛЯХИ ДОСЯГНЕННЯ ГРАНИЧНИХ МОЖЛИВОСТЕЙ МЕТОДУ ЕЛІПСОМЕТРІЇ

ОСНОВНІ ШЛЯХИ ДОСЯГНЕННЯ ГРАНИЧНИХ МОЖЛИВОСТЕЙ МЕТОДУ ЕЛІПСОМЕТРІЇ

Назва:
ОСНОВНІ ШЛЯХИ ДОСЯГНЕННЯ ГРАНИЧНИХ МОЖЛИВОСТЕЙ МЕТОДУ ЕЛІПСОМЕТРІЇ
Тип:
Реферат
Мова:
Українська
Розмiр:
17,64 KB
Завантажень:
307
Оцінка:
 
поточна оцінка 5.0


Скачати цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11  12 
СУМСЬКИЙ ДЕРЖАВНИЙ УНІВЕРСИТЕТ
БОБРО ВАЛЕРІЙ ВАСИЛЬОВИЧ
УДК 535.5.511:531.7
ОСНОВНІ ШЛЯХИ ДОСЯГНЕННЯ ГРАНИЧНИХ
МОЖЛИВОСТЕЙ МЕТОДУ ЕЛІПСОМЕТРІЇ
Спеціальність 01.04.01- фізика приладів, елементів і систем
АВТОРЕФЕРАТ
дисертації на здобуття наукового ступеня
кандидата фізико-математичних наук
СУМИ-1999
Дисертацією є рукопис.
Робота виконана в Інституті прикладної фізики НАН України (м.Суми) та у ВАТ “Феодосійський приладобудівний завод ” (м. Феодосія).
Науковий керівник доктор фізико-математичних наук,
професор Семененко Альберт Іванович,
Інститут прикладної фізики НАН України,
головний науковий співробітник
Офіційні опоненти доктор фізико-математичних наук,
професор Шайкевич Ігор Андрійович,
Київський національний університет імені
Тараса Шевченка, професор кафедри оптики
доктор фізико-математичних наук,
професор Погребняк Олександр Дмитрович,
Сумський державний університет
Провідна установа - Харківський державний університет.
Захист відбудеться “23” вересня 1999 р. о 15 годині на засіданні
спеціалізованої вченої ради Д55.051.02 у Сумському державному університеті за адресою:
244007, м. Суми, вул. Римського-Корсакова, 2, корп.ЕТ, ауд.216.
З дисертацією можна ознайомитися у бібліотеці Сумського державного університету.
Автореферат розісланий “17” серпня 1999 року.
Вчений секретар
спеціалізованої ради О.А.Борисенко
ЗАГАЛЬНА ХАРАКТЕРИСТИКА РОБОТИ
 
Актуальність теми. При застосуванні сучасних технічних засобів еліпсометрія дозволяє розробити цілу низку безконтактних, неруйнівних, чутливих методів дослідження стану поверхні та структури тонких поверхневих плівок. Навіть мінутна точність у вимірюванні поляризаційних кутів та дозволяє визначити товщину поверхневої плівки з точністю до 0,1 нм, а показник заломлення - з точністю до третього знака після коми. Висока чутливість методу дозволяє досліджувати фізико-хімічні процеси на поверхні твердих тіл та рідин, фіксуючи соті частки моношару, однак при цьому основне значення має можливість вимірювання дуже малих зсувів значень кутів та , але не абсолютна точність вимірювання цих кутів. Проте практично важлива задача визначення великої кількості невідомих параметрів багатошарових поверхневих структур для свого задовільного розв’язання потребує використання приладів, які забезпечують секундну (порядку 5-10 секунд) точність вимірювання самих значень кутів та , а не тільки їх зсувів. Така ж сама проблема виникає й при дослідженні надтонких (менше ніж 10 нм) плівок, а також анізотропних матеріалів.
Надзвичайно висока чутливість методу еліпсометрії до зміни стану поверхні, яка, безумовно, є перевагою методу і забезпечує у цілому високу точність, у той же час породжує великі труднощі на шляху практичної реалізації відповідній такій чутливості точності в експериментальному вимірюванні поляризаційних кутів та .
Існуючі еліпсометри не забезпечують достатньої точності. У кращому випадку припустимі для них абсолютні похибки у визначенні та складають відповідно 5 та 6 мінут. Саме така точність закладена у еліпсометрах типу ЛЕФ-ЗМ-1, які були розроблені в Інституті фізики напівпровідників Сибірського відділення Російської академії наук (м. Новосибірськ) та виробляються ВАТ “Феодосійський приладобудівний завод” (м. Феодосія). Але й цю точність з деяких обставин важко реалізувати. Основною перешкодою на цьому шляху була відсутність достатньо розробленої теорії приладу та надійного метрологічного забезпечення.
Розширення можливостей методу еліпсометрії, наближення до його граничних можливостей повязано не лише з підвищенням точності вимірювань поляризаційних кутів та , але й з розвязанням зворотної задачі еліпсометрії, яку можна віднести до класу некоректних математичних задач. Математична некоректність зворотної задачі еліпсометрії особливо яскраво та наочно виявляється при дослідженні надтонких (менше ніж 5 нм) поверхневих плівок. Для розвязання таких задач необхідно залучати спеціальні методи, які дозволяють суттєво розширити рамки сталих моделей.
У звязку з вищевикладеним розробка основних шляхів досягнення граничних можливостей методу еліпсометрії набуває особливої важливості та актуальності.

Завантажити цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11  12 



Реферат на тему: ОСНОВНІ ШЛЯХИ ДОСЯГНЕННЯ ГРАНИЧНИХ МОЖЛИВОСТЕЙ МЕТОДУ ЕЛІПСОМЕТРІЇ

BR.com.ua © 1999-2017 | Реклама на сайті | Умови використання | Зворотній зв'язок