Головна Головна -> Реферати українською -> Дисертації та автореферати -> реферат українською: ВПЛИВ ІЗОВАЛЕНТНОЇ ДОМІШКИ ОЛОВА НА ТЕРМІЧНЕ ТА РАДІАЦІЙНЕ ДЕФЕКТОУТВОРЕННЯ В КРЕМНІЇ

ВПЛИВ ІЗОВАЛЕНТНОЇ ДОМІШКИ ОЛОВА НА ТЕРМІЧНЕ ТА РАДІАЦІЙНЕ ДЕФЕКТОУТВОРЕННЯ В КРЕМНІЇ / сторінка 5

Назва:
ВПЛИВ ІЗОВАЛЕНТНОЇ ДОМІШКИ ОЛОВА НА ТЕРМІЧНЕ ТА РАДІАЦІЙНЕ ДЕФЕКТОУТВОРЕННЯ В КРЕМНІЇ
Тип:
Реферат
Мова:
Українська
Розмiр:
16,52 KB
Завантажень:
453
Оцінка:
 
поточна оцінка 5.0

Скачати цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10 
3 в одному масштабі. У табл.1 наведено значення енергії активації (Eа) і частотного фактора (), визначені з експериментів по відпалу КТД-450, для кристалів з різною концентрацією олова без ПТО. З табл.1 видно значне зменшення параметрів Eа і із збільшенням концентрації Sn. Дифузія атомів кисню є основним чинником, що лімітує як генерацію, так і відпал КТД в Si [3]. Тому даний результат може означати прискорення дифузії Oі при введенні домішки Sn. Таке прискорення може бути результатом збільшення внутрішніх пружних напружень в кристалі внаслідок введення ІВД з більшим ковалентним радіусом. Вплив домішки Sn на параметри відпалу КТД значно зменшується після ПТО-800. У табл.2 приведено аналогічні параметри, отримані при відпалі КТД в зразках, попередньо термооброблених при 800 0С.
Рис.3. Залежності концентрації термодонорів від температури ізохронного відпалу в інтервалі 500-570 0С: 1-3 без ПТО-800, 1-3 із ПТО-800; 1, 1NSn = 0; 2, 2–Sn-1; 3, 3–Sn-2.
Видно, що енергія активації і частотний фактор відпалу після ПТО-800 збільшуються в усіх зразках, а різниця між легованими і нелегованими оловом матеріалами зменшується. Вплив ПТО на відпал КТД детально розглянуто в [2]. Використовуючи висновки цієї роботи, можна стверджувати, що домішка олова впливає на дифузію кисню головним чином в областях з його підвищеною концентрацією – мікрофлуктуаціях концентрації домішки кисню (МФК). Це може означати корельований розподіл домішок олова і кисню в кремнії. Тобто в МФК підвищеною є не тільки локальна концентрація кисню, але і олова.
Далі було запропоновано модель утворення КТД в кремнії. У якості базових використано уявлення моделі [3] про КТД як комплекси, що містять чотири атоми кисню.
Термодонори утворюються одночасно гетерогенним і гомогенним механізмами. Генерація ТД в першому випадку відбувається в результаті захоплення кисню на зародки, а в другому внаслідок комплексоутворення із дисперсних атомів кисню, які знаходяться у МФК. Кінцевий вираз, що дозволяє описати кінетику генерації КТД в кремнії на початкових етапах з врахуванням як гетерогенного (перший доданок), так і гомогенного (другий доданок) механізмів утворення КТД має вигляд:
де NТД концентрація КТД; NЗ0 початкова концентрація зародків; N1Oi концентрація атомів Оі , що взаємодіють із зародками; З константа швидкості утворення КТД із зародків; 2, 3, 4; k2 константи швидкостей прямих і зворотніх реакцій при гомогенному комплексоутворенні кисню.
Звідси ясно, що форма залежності (кр.1 на рис.2) визначається співвідношенням ефективності гетерогенної і гомогенної складових. Це пояснює різноманіття цих форм для кристалів із різною тепловою передісторією [1,2]. Після ПТО домінує гомогенний механізм. Використання (1) для кількісного аналізу експериментальних даних по генерації КТД дозволяє зробити висновок, що ПТО-800 зменшує не тільки загальну концентрацію зародків, але і локальну концентрацію кисню в МФК.
На основі розробленої моделі утворення КТД запропоновано також модель механізму впливу Sn на кінетику генерації КТД у Si. Передбачається, що вплив домішки олова на кінетику генерації КТД в Si при 450 0С може бути пояснено уповільненням як гомогенної так і гетерогенної преципітації кисню за рахунок утворення метастабільних комплексів кисень-олово.
У випадку гомогенної преципітації в кремнії, легованому оловом:
де OSn, kOSn - константи прямої і зворотньої реакцій OSn; NSnO4 - концентрація КТД, утворених гомогенно.
А стаціонарна швидкість генерації термодонорів:
Видно, що збільшення концентрації Sn повинно приводити до зменшення стаціонарної швидкості генерації КТД. Саме це і спостерігається в експерименті (рис.2, кр. 2 і 3).
У даному розгляді враховано вплив домішки Sn тільки на кінетику утворення комплексів О4. Насправді виникнення і розпад комплексу OSn може вплинути і на утворення комплексів О2 і О3, які ще не є термодонорами. Врахування цих обставин істотно ускладнює розв'язок, однак не змінює його якісно.
При гетерогенній генерації КТД:
де NSnТДЗ - концентрація КТД, утворених гетерогенно.

Завантажити цю роботу безкоштовно

Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10 
Реферат на тему: ВПЛИВ ІЗОВАЛЕНТНОЇ ДОМІШКИ ОЛОВА НА ТЕРМІЧНЕ ТА РАДІАЦІЙНЕ ДЕФЕКТОУТВОРЕННЯ В КРЕМНІЇ

BR.com.ua © 1999-2019 | Реклама на сайті | Умови використання | Зворотній зв'язок