Головна Головна -> Реферати українською -> Дисертації та автореферати -> Визначення параметрів плівково- поверхневих структур методом обвідних спектрів

Визначення параметрів плівково- поверхневих структур методом обвідних спектрів

Назва:
Визначення параметрів плівково- поверхневих структур методом обвідних спектрів
Тип:
Реферат
Мова:
Українська
Розмiр:
15,36 KB
Завантажень:
149
Оцінка:
 
поточна оцінка 5.0


Скачати цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11 
Міністерство освіти і науки України
Прикарпатський національний університет
імені Василя Стефаника
Моргуліс Алла
УДК 535.4; 535.854
Визначення параметрів плівково- поверхневих структур методом обвідних спектрів
СПЕЦІАЛЬНІСТЬ 01.04.18 – ФІЗИКА І ХІМІЯ ПОВЕРХНІ
АВТОРЕФЕРАТ
дисертації на здобуття наукового ступеня
кандидата фізико-математичних наук
Івано-Франківськ ? 2006
Дисертацією є рукопис.
Робота виконана на кафедрі матеріалознавства і новітніх техно-логій Прикарпатського національного університету імені Василя Стефаника,
Міністерство освіти і науки України.
Науковий керівник: доктор фізико-математичних наук, професор
Кособуцький Петро Сидорович,
професор кафедри фізики
Національного університету “Львівська політехніка”, Міністерство освіти і науки України, м. Львів.
Офіційні опоненти: доктор фізико–математичних наук, професор Дмитрук Микола Леонтійович,
завідувач відділом поляритонної оптоелектроніки Інституту фізики напівпровідників імені В. Є. Лашкарьова,
Національна Академія Наук України, м. Київ;
доктор фізико–математичних наук
Франів Андрій Васильович,
доцент кафедри експериментальної фізики Львівського національного університету
імені Івана Франка, м. Львів;
Провідна установа:
Інститут фізики НАН України, відділ нелінійної оптики, м.Київ
Захист відбудеться „ 26 ” травня 2006 року о 14 00 годині на засіданні спеціалізованої вченої ради Д 20.051.06 у Прикарпатському національному університеті імені Василя Стефаника Міністерства освіти і науки України за адресою: 76025, м. Івано-Франківськ, вул. Шевченка, 79, конференц-зал Будинку вчених..
З дисертацією можна ознайомитися у бібліотеці Прикарпатського національного університету імені Василя Стефаника (76025, м. Івано-Франківськ, вул. Шевченка, 79).
Автореферат розісланий ”19 ” квітня 2006 року.
Учений секретар
спеціалізованої вченої ради Д 20.051.06,
д.т.н., професор Сіренко Г.О.
ЗАГАЛЬНА ХАРАКТЕРИСТИКА РОБОТИ
Актуальність теми. Сучасна мікроелектроніка, а особливо наноелектроніка, є надзвичайно критична до тих фізико-хімічних процесів, які відбуваються на поверхні чи межах розділу електронних матеріалів. Перш за все контакт із атмосферою зумовлює на поверхні складні процеси, внаслідок яких на ній практично завжди існують плівки власних окислів, параметри яких необхідно контролювати. Більше того, є ряд напрямків мікроелектроніки, де застосовують спеціальні фізико-хімічні технології реконструкції поверхні для створення широко спектру сенсорних функціональних пристроїв на плівково-поверхневих структурах. Це досягається зміною енергетичного стану електрона в області розділу шляхом зміни її властивостей під впливом зовнішнього чинника.
У будь-якому випадку довільний технологічний процес вимагає впровадження неруйнівних методів контролю фізичних параметрів, в тому числі товщини чи оптичних показників. Актуальне місце серед чинних методів контролю фізичних параметрів займає метод багатопроменевої інтерференції. Треба зазначити, що незважаючи на те, що ця ідея Фабрі і Перо була висловлена і обгрунтована ще понад сторіччя тому, вона і досі привертає увагу дослідників і практиків. Сьогодні принцип багатопроменевої інтерференції став базовим для організації інтерференційних і еліпсометричних неруйнівних методів оптичної діагностики параметрів плівко-поверхневих структур у мікро- і наноелектроніці. Більше того, на його основі розроблений принципово новий клас функціональних пристроїв твердотільної термометрії, МЕМС-електроніки та сенсорики, сейсмології і тощо. Закономірності багатопроменевої інтерференції в плівково-поверхневих структурах покладені в основу неруйнівного контролю не лише методами електромаґнітної оптики, але й акустики та рентґенівських хвиль. амплітуди і фази.
Метод інтерференції Фабрі-Перо базується на використанні фізичних основ теорії Максвелла електромаґнітного поля, яка дозволяє в досить широкому спектрі частот одержувати вирази для комплексних френелівських коефіцієнтів відбиття та пропусканння плоских хвиль в термінах макроскопічного підходу опису властивостей середовищ як зміну їх
Незважаючи на те, що в літературі висловлювалась думка про те, що ця задача в основному вирішена, тим не менше останнім часом з точки зору вирішення прямої чи оберненої спектрофотометричних завдань з’ясувалась актуальність розробки загального підходу до опису спектрів багатопроменевої інтерференції з позиції аналізу закономірностей формування їх обвідних як значень енергетичних коефіцієнтів відбиття , пропускання та фаз відбитої і пропущеної хвиль у вершинах екстремумів смуг інтерференції і встановлення кореляції їх з параметрами плівково-поверхневих структур.

Завантажити цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11 



Реферат на тему: Визначення параметрів плівково- поверхневих структур методом обвідних спектрів

BR.com.ua © 1999-2017 | Реклама на сайті | Умови використання | Зворотній зв'язок