Головна Головна -> Реферати українською -> Дисертації та автореферати -> ФАЗОВІ ПЕРЕТВОРЕННЯ У ПЛІВКАХ ОКСИДІВ КРЕМНІЮ, ЗУМОВЛЕНІ ЗМІНОЮ СТРУКТУРНОГО СТАНУ КИСНЮ

ФАЗОВІ ПЕРЕТВОРЕННЯ У ПЛІВКАХ ОКСИДІВ КРЕМНІЮ, ЗУМОВЛЕНІ ЗМІНОЮ СТРУКТУРНОГО СТАНУ КИСНЮ

Назва:
ФАЗОВІ ПЕРЕТВОРЕННЯ У ПЛІВКАХ ОКСИДІВ КРЕМНІЮ, ЗУМОВЛЕНІ ЗМІНОЮ СТРУКТУРНОГО СТАНУ КИСНЮ
Тип:
Реферат
Мова:
Українська
Розмiр:
17,53 KB
Завантажень:
232
Оцінка:
 
поточна оцінка 5.0


Скачати цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11 
НАЦІОНАЛЬНА АКАДЕМІЯ НАУК УКРАЇНИ
ІНСТИТУТ ФІЗИКИ НАПІВПРОВІДНИКІВ
ІМЕНІ В.Є. ЛАШКАРЬОВА
МАЗУНОВ ДЕНИС ОЛЕГОВИЧ
УДК 539.213; 621.315
ФАЗОВІ ПЕРЕТВОРЕННЯ У ПЛІВКАХ ОКСИДІВ КРЕМНІЮ, ЗУМОВЛЕНІ ЗМІНОЮ СТРУКТУРНОГО СТАНУ КИСНЮ
Спеціальність 01.04.07 – фізика твердого тіла
АВТОРЕФЕРАТ
дисертації на здобуття наукового ступеня
кандидата фізико-математичних наук
Київ-2005
Дисертацією є рукопис
Робота виконана в Інституті фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова Національної академії наук України
Науковий керівник: | доктор фізико-математичних наук,
старший науковий співробітник
Лісовський Ігор Петрович
Інститут фізики напівпровідників
ім. В.Є. Лашкарьова НАН України,
провідний науковий співробітник
Офіційні опоненти: | доктор фізико-математичних наук
Скришевський Валерій Антонович
Київський національний університет
ім. Тараса Шевченка
професор кафедри напівпровідникової електроніки
кандидат фізико-математичних наук,
старший науковий співробітник
Братусь Віктор Якович
Інститут фізики напівпровідників
ім. В.Є. Лашкарьова НАН України,
старший науковий співробітник
Провідна організація: | Інститут фізики НАН України,
відділ фотоактивності, м. Київ
Захист відбудеться “24” травня 2005 р. о 1615 годині на засіданні спеціалізованої вченої ради К26.199.01 в Інституті фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова Національної академії наук України (03028, м. Київ, проспект Науки, 45).
З дисертацією можна ознайомитися в бібліотеці Інституту фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
(03028, м. Київ, проспект Науки, 45).
Автореферат розісланий 22 квітня 2005 р.
Учений секретар
спеціалізованої вченої ради К26.199.01
кандидат фізико-математичних наук |
О.Б. Охріменко
ЗАГАЛЬНА ХАРАКТЕРИСТИКА РОБОТИ
Актуальність теми. Дослідження фізичних властивостей плівок оксидів кремнію (SiOx, 0 < х ? ), що інтенсивно проводилися протягом останніх десятиріч, зумовлені, в першу чергу, широким використанням зазначених шарів у якості пасивуючих, ізолюючих та антивідбивних покрить в напівпровідникових приладних структурах. Зокрема, планарна система Si–SiO2 є базовою в сучасній інтегральній електроніці, на її основі будуються та вдосконалюються надвеликі та надшвидкі інтегральні схеми та нові функціональні елементи мікроелектроніки теперішнього дня.
В останні роки плівки оксидів кремнію активно вивчаються також у зв’язку з можливістю одержання нановключень кремнію в матриці SiOx, зокрема застосовуючи термообробки. Композити, які складаються з нанокристалів Si в оксидній матриці, привертають велику увагу як матеріали, що можуть вирішити проблему створення випромінювачів світла у видимій та ближній інфрачервоній області спектра на основі високорозвиненої і найбільш дешевої кремнієвої технології. Перевагою композитів Si/SiO2 (або Si/SiOx) порівняно з пористим кремнієм, на якому спостерігалася достатньо інтенсивна видима фотолюмінесценція, є їх механічна та хімічна стійкість, а також повна сумісність з сучасною кремнієвою технологією. Вже показані потенційні можливості практичного застосування таких композитних структур в світловипромінюючих діодах, лазерах та оптичних підсилювачах.
Плівки оксидів кремнію аморфні, тим не менш в них існує певна система розташування атомів кисню. Зокрема, структурну основу склоподібної фази SiO2 складають дуже стабільні тетраедри Si-O4. Вони об’єднуються в кільця таким чином, що кожен атом кисню (містковий кисень) водночас є членом двох кремній-кисневих тетраедрів та кількох взаємопов’язаних кілець (передусім, 4- та 6-членних) тетраедрів Si-O4. У ґратці нестехіометричних оксидів кремнію (SiOx, х < ) кисень може входити до складу чотирьох типів молекулярних комплексів Si-Oy-Si4-y (1y4), відносний вміст яких визначається індексом стехіометрії х. Як результат, обмежена кількість визначених структурних компонент (кілець кремній-кисневих тетраедрів та молекулярних комплексів), поруч зі стабільністю довжини зв’язку Si–O визначає певний порядок у структурі кремній-кисневої фази.

Завантажити цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11 



Реферат на тему: ФАЗОВІ ПЕРЕТВОРЕННЯ У ПЛІВКАХ ОКСИДІВ КРЕМНІЮ, ЗУМОВЛЕНІ ЗМІНОЮ СТРУКТУРНОГО СТАНУ КИСНЮ

BR.com.ua © 1999-2017 | Реклама на сайті | Умови використання | Зворотній зв'язок