Головна Головна -> Реферати українською -> Дисертації та автореферати -> ЕМІСІЙНІ ХАРАКТЕРИСТИКИ ЩІЛЬНОЇ ПЛАЗМИ ЕЛЕКТРОРОЗРЯДНИХ ДЖЕРЕЛ ВИПРОМІНЮВАННЯ НА АТОМАХ ГЕЛІЮ І НЕОНУ ТА МОНОФТОРИДАХ І МОНОХЛОРИДАХ ВАЖКИХ ІНЕРТНИХ ГАЗІВ

ЕМІСІЙНІ ХАРАКТЕРИСТИКИ ЩІЛЬНОЇ ПЛАЗМИ ЕЛЕКТРОРОЗРЯДНИХ ДЖЕРЕЛ ВИПРОМІНЮВАННЯ НА АТОМАХ ГЕЛІЮ І НЕОНУ ТА МОНОФТОРИДАХ І МОНОХЛОРИДАХ ВАЖКИХ ІНЕРТНИХ ГАЗІВ

Назва:
ЕМІСІЙНІ ХАРАКТЕРИСТИКИ ЩІЛЬНОЇ ПЛАЗМИ ЕЛЕКТРОРОЗРЯДНИХ ДЖЕРЕЛ ВИПРОМІНЮВАННЯ НА АТОМАХ ГЕЛІЮ І НЕОНУ ТА МОНОФТОРИДАХ І МОНОХЛОРИДАХ ВАЖКИХ ІНЕРТНИХ ГАЗІВ
Тип:
Реферат
Мова:
Українська
Розмiр:
20,82 KB
Завантажень:
469
Оцінка:
 
поточна оцінка 5.0


Скачати цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11  12  13 
УЖГОРОДСЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ УНІВЕРСИТЕТ
МИНЯ ОЛЕКСАНДР ЙОСИПОВИЧ
УДК 539.186.537.621.623.373
ЕМІСІЙНІ ХАРАКТЕРИСТИКИ ЩІЛЬНОЇ ПЛАЗМИ ЕЛЕКТРОРОЗРЯДНИХ ДЖЕРЕЛ ВИПРОМІНЮВАННЯ НА АТОМАХ ГЕЛІЮ І НЕОНУ ТА МОНОФТОРИДАХ І МОНОХЛОРИДАХ ВАЖКИХ ІНЕРТНИХ ГАЗІВ
 
01.04.04 - фізична електроніка
Автореферат дисертації на здобуття наукового ступеня
кандидата фізико-математичних наук
Ужгород - 2005
Дисертація є рукописом
Робота виконана в Ужгородському національному університеті, Міністерство освіти і науки України
Науковий керівник:
доктор фізико-математичних наук, професор,
завідувач кафедри квантової електроніки,
Ужгородський національний університет Шимон Людвик Людвикович
Офіційні опоненти:
доктор фізико-математичних наук, професор,
завідувач кафедри електронних систем,
Ужгородський національний університет Опачко Іван Іванович
кандидат фізико-математичних наук,
доцент кафедри теоретичної фізики,
Київський національний університет
імені Тараса Шевченка Дацюк Віталій Васильович
Провідна установа: Інститут фізики НАН України,
відділ газової електроніки, м. Київ
Захист дисертації відбудеться “23” вересня 2005 р. о 14 годині на засіданні Спеціалізованої вченої ради К.61.051.01 при Ужгородському національному університеті за адресою: 88000, м. Ужгород, вул. Волошина, 54, ауд. 181.
З дисертацією можна ознайомитися в бібліотеці Ужгородського національного університету (м. Ужгород, вул. Капітульна, 9).
Автореферат розісланий “15” серпня 2005 р.
Вчений секретар спеціалізованої вченої ради
доктор фізико-математичних наук, професор Блецкан Д. І.


ЗАГАЛЬНА ХАРАКТЕРИСТИКА РОБОТИ
Актуальність роботи. Імпульсно-періодичні ексимерні лампи (ІПЕЛ) знаходять усе ширше застосування там, де важливим є рівномірне опромінення значних поверхонь або об’ємів потуж-ним короткохвильовим випромінюванням. До найбільш важливих застосувань ІПЕЛ відносяться очистка води та повітря, поверхні, стерилізація, підгонка деталей мікросхем, фотолітографія. Потужність та коефіцієнт корисної дії (ККД) цих ламп переважає відповідні параметри джерел випромінювання на парах металів, водню або дугових ксенонових ламп. Ефективність фотохімічних процесів та бактерицидна дія ексимерних ламп сильно залежать від довжини хвилі випромінювання у спектральному діапазоні 150-350 нм. Тому важливим є максимально щільне перекриття УФ діапазону спектру потужним імпульсно-періодичним випромінюванням. До початку наших досліджень ІПЕЛ-лампи працювали лише на одній В-Х смузі молекул KrF* (XeCl*), а їх робочим середовищем були проcті газові суміші типу Не/Kr(Хе)/F2(НCl). Можливості керування спектральними, часовими і енергетичними характеристиками ексимерних ламп на моногалогенідах Ar, Kr i Xe, які збуджуються поперечним об’ємним розрядом (ПОР) у складних робочих сумішах типу Не/Ar/Kr/Xe/F2(SF6,HCl) були невідомі. При цьому, значний інтерес викликає можливість розробки й джерел видимого та близького інфрачервоного (ІЧ) випромінювання на атомах Не та Ne з розселенням їх нижніх енергетичних станів в результаті пеннінгівської іонізації галогеновмісних молекул метастабільними атомами легких інертних газів.
Робота ексимерних ламп чи лазерів із частотою повторення імпульсів більшою за 5-10 Гц вимагає підтримання оптимальної температури робочої суміші й утилізації надлишкового тепла в розрядній камері. Використання механічних систем прокачування агресивних газових сумішей високого тиску через систему електродів лазера та холодильник вимагає значних витрат енергії, вносить забруднення і є причиною шуму та вібрації випромінювача. Можливості же викорис-тання альтернативної - електричної системи прокачування робочих середовищ ексимерних дже-рел випромінювання стримувалися відсутністю даних з умов одержання, характеристик та фізичних процесів у плазмі багатоелектродного коронного розряду (БКР) на сумішах інертних газів із фторвмісними молекулами (F2, SF6). При запалюванні коронного розряду (КР) в чистих інертних газах або їх сумішах високого тиску, за рахунок нелінійностей коронного розряду у цих середовищах, можливим є формування однорідного стаціонарного розряду, який є проміжним між тліючим та коронним.

Завантажити цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11  12  13 



Реферат на тему: ЕМІСІЙНІ ХАРАКТЕРИСТИКИ ЩІЛЬНОЇ ПЛАЗМИ ЕЛЕКТРОРОЗРЯДНИХ ДЖЕРЕЛ ВИПРОМІНЮВАННЯ НА АТОМАХ ГЕЛІЮ І НЕОНУ ТА МОНОФТОРИДАХ І МОНОХЛОРИДАХ ВАЖКИХ ІНЕРТНИХ ГАЗІВ

BR.com.ua © 1999-2017 | Реклама на сайті | Умови використання | Зворотній зв'язок