Головна Головна -> Реферати українською -> Дисертації та автореферати -> СИСТЕМА ФОРМУВАННЯ ПУЧКА ЯДЕРНОГО МІКРОЗОНДА

СИСТЕМА ФОРМУВАННЯ ПУЧКА ЯДЕРНОГО МІКРОЗОНДА

Назва:
СИСТЕМА ФОРМУВАННЯ ПУЧКА ЯДЕРНОГО МІКРОЗОНДА
Тип:
Реферат
Мова:
Українська
Розмiр:
19,33 KB
Завантажень:
454
Оцінка:
 
поточна оцінка 5.0


Скачати цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11  12 
МІНІСТЕРСТВО ОСВІТИ І НАУКИ УКРАЇНИ
НАЦІОНАЛЬНИЙ НАУКОВИЙ ЦЕНТР
“ХАРКІВСЬКИЙ ФІЗИКО-ТЕХНІЧНИЙ ІНСТИТУТ”
Гончаров Олександр Васильович
УДК 621.384; 537.533.3
СИСТЕМА ФОРМУВАННЯ ПУЧКА ЯДЕРНОГО МІКРОЗОНДА
Спеціальність: 01.04.20 - фізика пучків заряджених частинок
Автореферат
дисертації на здобуття наукового ступеня
кандидата фізико-математичних наук
Харків – 2001


Дисертацією є рукопис
Робота виконана в Інституті твердого тіла, матеріалознавства та технологій Національного наукового центра “Харківський фізико-технічний інститут” (ННЦ ХФТІ) Міністерства освіти і науки України
Науковий керівник: | кандидат фізико-математичних наук, старший науковий співробітник
Колот Володимир Якович, Інститут твердого тіла, матеріалознавства та технологій ННЦ ХФТІ, начальник відділу
Офіційні опоненти: |
доктор фізико-математичних наук, професор
Онищенко Іван Миколайович, Інститут плазменої електроніки і нових методів прискорення ННЦ ХФТІ, заступник директора
кандидат фізико-математичних наук, старший науковий співробітник
Чорний Валентин Васильович, Харківський національний університет ім. В.Н. Каразіна, начальник лабораторії
Провідна організація: | Науковий фізико-технологічний центр Міносвіти і НАН України
Захист дисертації відбудеться “_27_” __листопада___ 2001 року о “_1530_” годині на засіданні Спеціалізованої вченої ради Д64.845.01 у Національному науковому центрі “Харківський фізико-технічний інститут” за адресою: 61108, м. Харків-108, вул. Академічна, 1, конференц-зал.
З дисертацією можна ознайомитися в науковій бібліотеці ННЦ ХФТІ за адресою 61108, м. Харків-108, вул. Академічна, 1.
Автореферат розісланий “_10_” _____жовтня___ 2001 року
Вчений секретар Спеціалізованої ради Д64.845.01, доктор фізико-математичних наук |
М.І. Айзацький


ЗАГАЛЬНА ХАРАКТЕРИСТИКА РОБОТИ
Прогрес у створенні матеріалів напівпровідникової техніки, мікроелектроніки, лазерної техніки, виробництві різного роду композиційних матеріалів і сплавів з багатофазною структурою, а також дослідження геологічних об'єктів на мікрорівні були б неможливі без використання локальних методів елементного аналізу.
Нині за допомогою цих методів можливе проведення аналізу з просторовим розділенням по поверхні 0,01 – 10 мкм, а по глибині - 0,0005 – 1 мкм.
Частина методів локального аналізу використовується в основному для аналізу поверхні: рентгеноелектронна спектроскопія, Оже-електронна спектроскопія, спектроскопія розсіювання повільних іонів, мас-спектрометрія вторинних іонів. Товщина аналізованого шару в даних методах невелика (0,0005-0,01 мкм), а спроби перейти до аналізу об’єму, додатково застосовуючи розпилення приповерхневих шарів, призводять до різкого погіршення розділення по глибині через неоднорідність ерозії речовини зразків при розпиленні.
Необхідно відзначити, що застосування руйнівних методів аналізу найчастіше буває небажаним, тому що після проведення такого аналізу зразок стає непридатним для інших досліджень, а підготовка зразків є трудомісткою і кропіткою процедурою. Крім того, деякі досліджувані зразки бувають унікальними (зразки космічного походження, об'єкти археології і т.п.).
Для дослідження розподілу елементів по об’єму частіше використовують локальні методи з більшою глибиною аналізу: лазерний мікромас-спектральний аналіз, що є руйнівним методом, а також неруйнівні методи, що одержали найбільший розвиток - рентгеноспектральний мікроаналіз (інша назва - електронно-зондовый мікроаналіз) і аналіз за допомогою ядерного мікрозонда (ЯМЗ).
У рентгеноспектральному мікроаналізі збудження характеристичного рентгенівського випромінювання (ХРІ) відбувається за допомогою електронного пучка з енергією кілька десятків кеВ. Як кількісний даний метод був розвинений у 50-60-і роки. C кінця 60-х почато серійне виробництво приладів і приставок до електронних мікроскопів. Оскільки електронний пучок швидко розсіюється при проникненні в глибину зразка, то для даного методу розділення по поверхні складає звичайно 0,5-5 мкм, незважаючи на те, що діаметр аналізуючого пучка може бути на 2-3 порядки менше.

Завантажити цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11  12 



Реферат на тему: СИСТЕМА ФОРМУВАННЯ ПУЧКА ЯДЕРНОГО МІКРОЗОНДА

BR.com.ua © 1999-2017 | Реклама на сайті | Умови використання | Зворотній зв'язок