Головна Головна -> Реферати українською -> Дисертації та автореферати -> ВДОСКОНАЛЕННЯ МЕТОДІВ І ЗАСОБІВ ВИМІРЮВАННЯ ПАРАМЕТРІВ ЕЛЕКТРОННО-ПРОМЕНЕВОЇ БЕЗТИГЕЛЬНОЇ ЗОННОЇ ПЛАВКИ

ВДОСКОНАЛЕННЯ МЕТОДІВ І ЗАСОБІВ ВИМІРЮВАННЯ ПАРАМЕТРІВ ЕЛЕКТРОННО-ПРОМЕНЕВОЇ БЕЗТИГЕЛЬНОЇ ЗОННОЇ ПЛАВКИ

Назва:
ВДОСКОНАЛЕННЯ МЕТОДІВ І ЗАСОБІВ ВИМІРЮВАННЯ ПАРАМЕТРІВ ЕЛЕКТРОННО-ПРОМЕНЕВОЇ БЕЗТИГЕЛЬНОЇ ЗОННОЇ ПЛАВКИ
Тип:
Реферат
Мова:
Українська
Розмiр:
15,94 KB
Завантажень:
328
Оцінка:
 
поточна оцінка 5.0


Скачати цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10 
Івано-Франківський національний технічний університет
нафти і газу
Порєв Геннадій Володимирович
УДК 621.307.13
ВДОСКОНАЛЕННЯ МЕТОДІВ І ЗАСОБІВ ВИМІРЮВАННЯ ПАРАМЕТРІВ ЕЛЕКТРОННО-ПРОМЕНЕВОЇ БЕЗТИГЕЛЬНОЇ ЗОННОЇ ПЛАВКИ
05.11.13 — Прилади і методи контролю
та визначення складу речовин
Автореферат
дисертації на здобуття наукового ступеня
кандидата технічних наук
Івано-Франківськ - 2004
Дисертацією є рукопис
Робота виконана в Науково-дослідному інституті прикладної електроніки Національного технічного університету України “Київський політехнічний інститут” Міністерства освіти і науки України
Науковий керівник: член-кореспондент НАН України, доктор технічних наук, професор Якименко Юрій Іванович, Національний технічний університет України “КПІ”, завідувач кафедри мікроелектроніки.
Офіційні опоненти: доктор технічних наук, професор Пістун Євген Павлович, Національний університет „Львівська політехніка”, завідувач кафедри автоматизації теплових і хімічних процесів;
кандидат технічних наук, старший науковий співробітник Приміський Володислав Пилипович, Український науково-дослідний інститут аналітичного приладобудування, завідувач відділу.
Провідна установа Вінницький національний технічний університет, кафедра метрології та промислової автоматики,
м. Вінниця
Захист дисертації відбудеться 16.04.2004 р. о 14 годині на засіданні спеціалізованої вченої ради Д.20.052.03 в Івано-Франківському національному технічному університеті нафти і газу за адресою: 76019, м.Івано-Франківськ, вул. Карпатська, 15.
З дисертацією можна ознайомитись у бібліотеці ІФНТУНГ (м.Івано-Франківськ, вул. Карпатська, 15).
Автореферат розісланий 15.03. 2004 р.
Вчений секретар спеціалізованої вченої ради,
кандидат технічних наук, доцент М.М. Дранчук


Актуальність теми
Електронно-променева безтигельна зонна плавка (ЕПБЗП) відноситься до найбільш перспективних технологій отримання матеріалів із заданими властивостями, в тому числі надчистих напівпровідників, які є основою мікроелектроніки та інших важливих галузей науки і техніки.
Очевидно, що належна якість продукції може бути забезпечена тільки при дотриманні технологічних вимог щодо найважливіших параметрів плавки — температури та висоти зони розплаву (ЗР), що крім досконалої технології плавки вимагає адекватних методів і технічних засобів контролю.
Такі методи і технічні засоби повинні забезпечувати вимірювання параметрів ЕПБЗП на рівні сучасних вимог протягом всього циклу плавки, і в першу чергу, забезпечити необхідну точність вимірювання параметру в усьому діапазоні його зміни.
По-друге, такі методи і технічні засоби повинні створити умови для накопичення експериментального матеріалу щодо перебігу плавки, який буде використаний для розробки як методології контролю плавки, так і вдосконалення самої технології ЕПБЗП.
На сьогодні отримано достатньо теоретичних та експериментальних матеріалів, з яких випливає висновок, що серед усіх технічних засобів, які можуть бути використані для вимірювання температури та висоти ЗР, повністю адекватними задачі є тільки телевізійні засоби. Дійсно, сучасні телевізійні прилади в змозі одночасно забезпечити найвищі серед усіх інших засобів показники щодо просторового розрізнення, формату та часу формування виборки, що надає їм суттєві переваги при вимірюванні параметрів ЗР, в тому числі в плані точності вимірювань. Впровадження телевізійних засобів та спеціально розроблених методів в технологію зонної плавки дозволило в цілому вирішити проблему її контролю.
Але деякі питання, важливі з точки зору точності вимірювання параметрів ЗР, не вирішені і до цього часу. До таких питань, зокрема, належать наступні.
По-перше, це низька ефективність існуючих методик компенсації нерівномірності чутливості світлоелектричного перетворювача (СЕП) та пов’язана з цим недосконалість методів визначення ефективної довжини хвилі (ЕДХ) телевізійних засобів вимірювання (ТЗВ), що може бути джерелом похибок вимірювання температури.
По-друге, обумовлені прагненням зменшити поверхневий градієнт температури розробка нових режимів плавки та введення в конструкції сучасних вакуумних камер додаткових елементів змінюють характер перевідбиття випромінювання, отже, змінюють алгоритм формування поля яскравості ЗР, що, в свою чергу, вимагає як розробки нових моделей формування поля яскравості ЗР, так і перегляду та вдосконалення існуючих методів вимірювання температури.

Завантажити цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10 



Реферат на тему: ВДОСКОНАЛЕННЯ МЕТОДІВ І ЗАСОБІВ ВИМІРЮВАННЯ ПАРАМЕТРІВ ЕЛЕКТРОННО-ПРОМЕНЕВОЇ БЕЗТИГЕЛЬНОЇ ЗОННОЇ ПЛАВКИ

BR.com.ua © 1999-2017 | Реклама на сайті | Умови використання | Зворотній зв'язок