Головна Головна -> Реферати українською -> Дисертації та автореферати -> СТРУКТУРНІ ТА ОПТИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ БАГАТОКОМПОНЕНТНИХ ТОНКИХ ПЛІВОК, МОДИФІКОВАНИХ АКТИВНИМИ ОБРОБКАМИ

СТРУКТУРНІ ТА ОПТИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ БАГАТОКОМПОНЕНТНИХ ТОНКИХ ПЛІВОК, МОДИФІКОВАНИХ АКТИВНИМИ ОБРОБКАМИ

Назва:
СТРУКТУРНІ ТА ОПТИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ БАГАТОКОМПОНЕНТНИХ ТОНКИХ ПЛІВОК, МОДИФІКОВАНИХ АКТИВНИМИ ОБРОБКАМИ
Тип:
Реферат
Мова:
Українська
Розмiр:
16,17 KB
Завантажень:
55
Оцінка:
 
поточна оцінка 5.0


Скачати цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9 
ЧЕРНІВЕЦЬКИЙ НАЦІОНАЛЬНИЙ УНІВЕРСИТЕТ
ІМЕНІ ЮРІЯ ФЕДЬКОВИЧА
ПОЛІТАНСЬКИЙ
РУСЛАН ЛЕОНІДОВИЧ
УДК 539.26:546.49
СТРУКТУРНІ ТА ОПТИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ
БАГАТОКОМПОНЕНТНИХ ТОНКИХ ПЛІВОК,
МОДИФІКОВАНИХ АКТИВНИМИ ОБРОБКАМИ
01.04.07 – фізика твердого тіла
Автореферат
дисертації на здобуття наукового ступеня
кандидата фізико-математичних наук
Чернівці-2001
Дисертацією є рукопис
Робота виконана в Чернівецькому національному університеті імені Юрія
Федьковича
Науковий керівник
Доктор фізико-математичних наук, професор
Раранський Микола Дмитрович
Чернівецький національний університет імені Юрія Федьковича,
Декан фізичного факультету.
Офіційні опоненти:
Доктор фізико-математичних наук, професор
Корбутяк Дмитро Васильович
Інститут фізики напівпровідників НАН України, завідувач відділу.
Доктор фізико-математичних наук, професор
Ковалюк Захар Дмитрович
Інститут проблем матеріалознавства, Чернівецьке відділення,
завідувач відділення.
Провідна установа: Інститут фізики НАН України, м. Київ
Захист відбудеться “26” жовтня 2001 р. о 15 годині на засіданні
спеціалізованої вченої ради Д76.051.01 в Чернівецькому національному
університеті імені Юрія Федьковича, м. Чернівці, 58012, вулиця
Коцюбинського, 2.
З дисертацією можна ознайомитись в науковій бібліотеці Чернівецького
національного університету імені Юрія Федьковича, вул.Лесі Українки, 23.
Автореферат розісланий “26” вересня 2001 р.
Вчений секретар спеціалізованої
Вченої ради Курганецький М.В.
ЗАГАЛЬНА ХАРАКТЕРИСТИКА РОБОТИ
Актуальність теми. Розвиток сучасної нано- та оптоелектроніки тісно пов'язаний із розробкою і використанням різного типу тонких, в тому числі багатокомпонентних плівок. Зокрема, епітаксійні структури, виготовлені на кремній-германієвій основі, знаходять широке застосування у промисловому виробництві мікро- та оптоелектронних приладів від транзисторів до фотодетекторів інфрачервоного випромінювання. Це пов'язано із широким спектром оптичних та електрофізичих властивостей таких сполук. Водночас значна невідповіднiсть граток германію та кремнію (~4,2 %) призводить до труднощів у виготовленні високоякісних епітаксійних структур. Виникаючi при цьому деформації можуть бути зменшенi в процесі наступних технологічних обробок. При цьому, ступінь релаксації деформацій та концентрація дефектів є важливими фізичними характеристиками епітаксійних структур.
Наявність пружних деформацій, на перший погляд, не призводить до виникнення паразитних струмів витікання, що обумовлені генерацією та рекомбінацією носіїв, як у випадку присутності дислокацій. Проте, при проведенні подальших високотемпературних технологічних процесів, надлишкові напруги сприяють зародженню дефектів. Тому виникає необхідність керування величиною деформації епітаксійного шару в залежності від подальшого застосування гетероструктур. Одним із методів, який застосовується для цього, є введення в плівку Si-Ge домішки вуглецю, яка завдяки малому ковалентному радіусу при вбудовуванні у вузли кристалічної гратки може призводити до релаксації механічних напружень в плівці. При цьому вуглець може вводитись прямо в процесі осадження плівки або після виготовлення за допомогою йонної імплантації. В деяких випадках імплантують такі елементи, як водень, миш'як та азот. Усі вказані методи здатні понижувати рівень механічних напружень, котрі виникають внаслідок невідповідності параметрiв граток. Проте, головний недолік їх в тому, що при імплантації утворюються точкові дефекти або їх кластери. Суттєвого зменшення концентрацiї таких дефектів можна добитися проведенням послідуючих термiчних відпалiв. Водночас, при проведенні імплантації слід уникати неконтрольованої появи нових хімічних утворень, яких неможливо позбутись в результаті відпалу.
Отже, з'ясування впливу комбiнованих видів обробок - легування вуглецем, імплантація йонами різної хімічної активності та швидкого термічного відпалу – на фізичні властивості кремній-германієвих епітаксійних структур, а саме — на рівень відносних деформацій i процеси дефектоутворення при ростi гетероепітаксійних структур, є актуальною i важливою проблемою сучасної фізики твердого тіла і напівпровідникового матеріалознавства, а встановлення механізмів і процесів, які при цьому відбуваються, дасть змогу отримувати гетероструктури необхідної стехіометрії з керованими електрофізичними та оптичними параметрами.

Завантажити цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9 



Реферат на тему: СТРУКТУРНІ ТА ОПТИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ БАГАТОКОМПОНЕНТНИХ ТОНКИХ ПЛІВОК, МОДИФІКОВАНИХ АКТИВНИМИ ОБРОБКАМИ

BR.com.ua © 1999-2017 | Реклама на сайті | Умови використання | Зворотній зв'язок