Головна Головна -> Реферати українською -> Дисертації та автореферати -> ФОРМУВАННЯ СИЛІЦИДНИХ ФАЗ ПРИ РЕАКЦІЙНІЙ ДИФУЗІЇ В СИСТЕМАХ “ПЛІВКОВІ ШАРИ (5 - 30 нм) Ni Ti, - МОНОКРИСТАЛІЧНИЙ КРЕМНІЙ”

ФОРМУВАННЯ СИЛІЦИДНИХ ФАЗ ПРИ РЕАКЦІЙНІЙ ДИФУЗІЇ В СИСТЕМАХ “ПЛІВКОВІ ШАРИ (5 - 30 нм) Ni Ti, - МОНОКРИСТАЛІЧНИЙ КРЕМНІЙ”

Назва:
ФОРМУВАННЯ СИЛІЦИДНИХ ФАЗ ПРИ РЕАКЦІЙНІЙ ДИФУЗІЇ В СИСТЕМАХ “ПЛІВКОВІ ШАРИ (5 - 30 нм) Ni Ti, - МОНОКРИСТАЛІЧНИЙ КРЕМНІЙ”
Тип:
Реферат
Мова:
Українська
Розмiр:
16,83 KB
Завантажень:
325
Оцінка:
 
поточна оцінка 5.0


Скачати цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11  12 
Національний технічний університет України
"Київський політехнічний інститут"
Замулко Сергій олександрович
УДК 669.548.55
ФОРМУВАННЯ СИЛІЦИДНИХ ФАЗ ПРИ РЕАКЦІЙНІЙ ДИФУЗІЇ В СИСТЕМАХ “ПЛІВКОВІ
ШАРИ (5 - 30 нм) Ni Ti, - МОНОКРИСТАЛІЧНИЙ КРЕМНІЙ”
спеціальність 05.16.01 – металознавство та термічна обробка металів
Автореферат
дисертації на здобуття наукового ступеня
кандидата технічних наук
Київ – 2006


Дисертацією є рукопис.
Робота виконана на кафедрі фізики металів Національного технічного університету України "Київський політехнічний інститут". Міністерства освіти і науки України.
Науковий керівник: доктор фізико-математичних наук, професор,
заслужений діяч науки і техніки України
Сидоренко Сергій Іванович.
Національний технічний університет України
"Київський політехнічний інститут",
завідувач кафедри фізики металів
Офіційні опоненти:
доктор технічних наук, с.н.с.
Сміян Олег Дмитрович.
Інститут електрозварювання
ім. Є.О. Патона НАН України,
провідний науковий співробітник
доктор технічних наук, професор
Белоус Михайло В'ячеславович.
Національний технічний університет України
"Київський політехнічний інститут",
професор кафедри загальної фізики і фізики твердого тіла
Провідна установа: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова
НАН України (м. Київ)
Захист відбудеться 20 березня 2006 р. о 14 год. 30 хв. на засіданні спеціалізованої вченої ради К26.002.12 при Національному технічному університеті України "Київський політехнічний інститут" за адресою: 03056, м. Київ, проспект Перемоги, 37, ІФФ, корпус №9 ауд. 203.
З дисертацією можна ознайомитись у бібліотеці Національного технічного університету України "Київський політехнічний інститут" за адресою: м. Київ, проспект Перемоги, 37.
Автореферат розісланий лютого 2006 р.
Вчений секретар
спеціалізованої вченої ради К26.002.12
кандидат технічних наук, доцент Л.М. Сиропоршнєв


ЗАГАЛЬНА ХАРАКТЕРИСТИКА РОБОТИ
Актуальність теми. Розв’язання багатьох проблем нано- і мікроелектронних силіцидних технологій безпосередньо пов’язано з розвитком та розробкою науково обґрунтованих принципів керування процесами дифузійного фазоутворення в плівкових системах “метал-кремній”.
Процеси дифузійної взаємодії компонентів при формуванні силіцидних шарів шляхом термічно активованої реакції між металом та кремнієм визначають фізичні і технологічні властивості плівкових елементів, їх температурну та часову стабільність і у кінцевому рахунку надійність роботи мікроприладів.
Значна кількість робіт присвячена системам “плівка металу (200 - 300 нм) - монокристалічний кремній”. В той же час число робіт, присвячених системам з надтонкими металевими шарами (< 50 нм) на кремнії, значно менша, хоча перспективи використання таких систем зумовлені бурхливим розвитком нанотехнологій. Послідовність силіцидних фаз, що формуються в тонкоплівкових наноструктурах, може істотно відрізнятись від тієї, що передбачається діаграмами фазової рівноваги для відповідних масивних матеріалів. При твердотільних реакціях, що ініційовані підвищенням температури, можуть формуватись фази, нетипові для масивного стану, утворюватись гетероструктури як суміш двох і більше фаз. Таким чином загальні закономірності процесів дифузійного формування структури, фазового складу та властивостей тонкоплівкових силіцидів не можна сьогодні вважати такими, що встановлені в повній мірі.
Тому завдання експериментального дослідження механізмів структурних та фазових перетворень, кінетики реакційної дифузії при формуванні силіцидних фаз в системах з металевими шарами нанометрових товщин (5 - 30 нм) на монокристалах кремнію, що мають перспективу практичного використання, є актуальним як у науковому, так і в практичному відношенні.
Обмеженість математичного опису нових задач дифузії з реакцією, які виникають в сучасних дослідженнях нанометрових шарів, необхідних розрахункових даних обмежує наукове прогнозування та можливості оптимізації технологічних процесів, зокрема - термічної обробки, з метою створення певних структурно-фазових станів в плівкових структурах “метал-кремній”.

Завантажити цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11  12 



Реферат на тему: ФОРМУВАННЯ СИЛІЦИДНИХ ФАЗ ПРИ РЕАКЦІЙНІЙ ДИФУЗІЇ В СИСТЕМАХ “ПЛІВКОВІ ШАРИ (5 - 30 нм) Ni Ti, - МОНОКРИСТАЛІЧНИЙ КРЕМНІЙ”

BR.com.ua © 1999-2017 | Реклама на сайті | Умови використання | Зворотній зв'язок