Головна Головна -> Реферати українською -> Дисертації та автореферати -> МЕХАНІЗМИ ФОРМУВАННЯ ТОНКИХ ПЛІВОК, ОТРИМУВАНИХ РІЗНИМИ МЕТОДАМИ ІОННО-ПЛАЗМОВОГО ОСАДЖУВАННЯ

МЕХАНІЗМИ ФОРМУВАННЯ ТОНКИХ ПЛІВОК, ОТРИМУВАНИХ РІЗНИМИ МЕТОДАМИ ІОННО-ПЛАЗМОВОГО ОСАДЖУВАННЯ

Назва:
МЕХАНІЗМИ ФОРМУВАННЯ ТОНКИХ ПЛІВОК, ОТРИМУВАНИХ РІЗНИМИ МЕТОДАМИ ІОННО-ПЛАЗМОВОГО ОСАДЖУВАННЯ
Тип:
Реферат
Мова:
Українська
Розмiр:
41,66 KB
Завантажень:
234
Оцінка:
 
поточна оцінка 5.0


Скачати цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11  12  13  14  15  16  17  18  19  20  21  22  23  24  25 
НАЦІОНАЛЬНА АКАДЕМІЯ НАУК УКРАЇНИ
ІНСТИТУТ ПРОБЛЕМ МАТЕРІАЛОЗНАВСТВА
ім. І.М.ФРАНЦЕВИЧА
ШАГІНЯН ЛЕОНІД РОБЕРТОВИЧ
УДК 539.23.216.2:533.924:546.171.1:621.762:661.65
МЕХАНІЗМИ ФОРМУВАННЯ ТОНКИХ ПЛІВОК, ОТРИМУВАНИХ
РІЗНИМИ МЕТОДАМИ ІОННО-ПЛАЗМОВОГО ОСАДЖУВАННЯ
спеціальність: 01.04.07. - фізика твердого тіла
АВТОРЕФЕРАТ
дисертації на здобуття наукового ступеня доктора
фізико-математичних наук
КИЇВ - 2001
Дисертацією є рукопис
Робота виконана в Інституті проблем матеріалознавства ім. І.М.Францевича
Національної Академії наук України
Науковий консультант: доктор фізико-математичних наук
член-кореспондент НАН України
професор Курдюмов Олександр Вячеславович,
Інститут проблем матеріалознавства НАН України,
завідувач відділу
Офіційні опоненти: доктор фізико-математичних наук
член-кореспондент НАН України
професор Макара Володимир Арсентьєвич,
Київський Національний університет імені Тараса Шевченка,
завідувач кафедри фізики металів
доктор фізико-математичних наук,
професор Сидоренко Сергій Іванович
Національний технічний університет України“
Київський політехнічний інститут”,
завідувач кафедри фізики металів
доктор технічних наук
Саєнко Володимир Антонович,
Науковий центр “Інститут ядерних досліджень”
НАН України,
старший науковий співробітник
Провідна установа: Національний технічний університет“
Харківський політехнічний інститут”
кафедра металознавства та напівпровідників
Захист відбудеться “__6__”____06_______2001 року о__14___годині на засіданні
спеціалізованої вченої ради Д26.207.01 в Інституті проблем матеріалознавства ім. І.М.Францевича НАН України за адресою: вул. Кржижановського, 3, Київ-142, 03142, Україна
З дисертацією можна ознайомитися в бібліотеці ІПМ НАН України
Автореферат розісланий __27. 04.___2001 року
Вчений секретар
спеціалізованої Вченої ради Падерно Ю.Б.
ЗАГАЛЬНА ХАРАКТЕРИСТИКА РОБОТИ
АКТУАЛЬНІСТЬ ТЕМИ. На сучасному етапі розвитку мікро-, опто-, кріолектроніки, обчислювальної і сенсорної техніки вдосконалення об'ємних матеріалів шляхом створення на них покрить різного призначення все більшого значення набувають плівкове матеріалознавство та плівкові технології.
Тонкоплівкові технології базуються на двох основних методах осаджування з газової фази - фізичному (PVD) та хімічному (CVD). PVD засновано на створенні газової фази з наступною конденсацією у вигляді плівки шляхом випаровування чи розпилення твердого тіла. У випадку CVD вихідним носієм компонентів плівки є газ(и).
Застосування в цих методах різного типу електричного розряду в газовій фазі в останні 15-20 років викликало лавиноподібну появу нових плівкових матеріалів і покрить, а ці методи почали називати іонно-плазмовими. Їхнє використання дало змогу інтенсифікувати хімічну взаємодію плівкоутворювальних частинок при кімнатній температурі за рахунок дисоціації та іонізації газів у плазмі, що істотно розширило коло плівкових матеріалів. По-друге, поряд з такими важливими параметрами як температура підкладки, її природа, швидкість конденсації, виник ще один могутній інструмент керування її властивостями у вигляді іонів з контрольованою енергією, здатних впливати на поверхню шару, що росте, за рахунок її бомбардування.
Дослідженню формування плівок, отримуваних іонно-плазмовими методами, присвячено велику кількість робіт (див. Ивановский Г., Петров В., 1986; Rossnagel S.M. et al., 1990). Однак у переважній більшості цих робіт досліджуються часткові питання прикладного характеру. Фундаментальні дослідження механізмів конденсації, а також загальних закономірностей формування плівок, що осаджуються різними іонно-плазмовими методами, практично відсутні.
Роботи з термоіонного осаджування плівок (ТІО), одного з найважливіших методів РVD технології, присвячені, в основному, одержуванню металевих конденсатів (див., наприклад, Саєнко В.А., 1999; Gusev I.V. et al., 1995). Механізми ж формування плівок сполук, одержуваних реакційним термоіонним осаджуванням (РТІО) в умовах бомбардування іонами хімічно активних газів, практично не вивчені.

Завантажити цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11  12  13  14  15  16  17  18  19  20  21  22  23  24  25 



Реферат на тему: МЕХАНІЗМИ ФОРМУВАННЯ ТОНКИХ ПЛІВОК, ОТРИМУВАНИХ РІЗНИМИ МЕТОДАМИ ІОННО-ПЛАЗМОВОГО ОСАДЖУВАННЯ

BR.com.ua © 1999-2017 | Реклама на сайті | Умови використання | Зворотній зв'язок