Головна Головна -> Реферати українською -> Дисертації та автореферати -> ГРАНИЧНА РОЗДІЛЬНА ЗДАТНІСТЬ ЗОНДОФОРМУЮЧИХ СИСТЕМ НА БАЗІ ПАРАМЕТРИЧНИХ МУЛЬТИПЛЕТІВ КВАДРУПОЛЬНИХ ЛІНЗ

ГРАНИЧНА РОЗДІЛЬНА ЗДАТНІСТЬ ЗОНДОФОРМУЮЧИХ СИСТЕМ НА БАЗІ ПАРАМЕТРИЧНИХ МУЛЬТИПЛЕТІВ КВАДРУПОЛЬНИХ ЛІНЗ

Назва:
ГРАНИЧНА РОЗДІЛЬНА ЗДАТНІСТЬ ЗОНДОФОРМУЮЧИХ СИСТЕМ НА БАЗІ ПАРАМЕТРИЧНИХ МУЛЬТИПЛЕТІВ КВАДРУПОЛЬНИХ ЛІНЗ
Тип:
Реферат
Мова:
Українська
Розмiр:
21,52 KB
Завантажень:
405
Оцінка:
 
поточна оцінка 5.0


Скачати цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11  12  13 
ІНСТИТУТ ПРИКЛАДНОЇ ФІЗИКИ
НАЦІОНАЛЬНОЇ АКАДЕМІЇ НАУК УКРАЇНИ
Мельник Костянтин Ігорович
УДК 53.072; 537.534.3
ГРАНИЧНА РОЗДІЛЬНА ЗДАТНІСТЬ ЗОНДОФОРМУЮЧИХ СИСТЕМ НА БАЗІ ПАРАМЕТРИЧНИХ МУЛЬТИПЛЕТІВ КВАДРУПОЛЬНИХ ЛІНЗ
01.04.20 – фізика пучків заряджених частинок
Автореферат дисертації на здобуття наукового ступеня
кандидата фізико–математичних наук
Суми – 2007


Дисертацією є рукопис.
Робота виконана в Інституті прикладної фізики
Національної Академії наук України.
Науковий керівник –
кандидат фізико–математичних наук,
старший науковий співробітник
Пономарьов Олександр Георгійович,
Інститут прикладної фізики
Національної Академії наук України,
провідний науковий співробітник відділу електростатичних прискорювачів.
Офіційні опоненти:
доктор фізико–математичних наук,
старший науковий співробітник
Огнівенко Володимир Всеволодович,
Національний науковий центр
„Харківський фізико–технічний інститут”,
провідний науковий співробітник;
доктор фізико–математичних наук, професор
Воробйов Геннадій Савелійович,
Сумський державний університет,
декан фізико–технічного факультету,
професор кафедри фізичної електроніки.
Провідна установа –
Харківський Національний університет
ім. В.Н.Каразіна МОН України, кафедра фізики плазми.
Захист відбудеться 24 травня 2007 р. о 14 годині на засіданні спеціалізованої вченої ради K 55.250.01 при Інституті прикладної фізики НАН України за адресою: м. Суми, вул. Петро-павлівська, 58.
З дисертацією можна ознайомитись у бібліотеці Інституту прикладної фізики НАН України за адресою: м. Суми, вул. Римського–Корсакова, 3.
Автореферат розісланий 20 квітня 2007 р.
Вчений секретар
спеціалізованої вченої ради Мордик С.М.


ЗАГАЛЬНА ХАРАКТЕРИСТИКА РОБОТИ
Актуальність теми. Дисертаційна робота присвячена ви-вчен--ню факторів, які впливають на просторову роздільну здат-ність перс-пек-тивного аналітичного приладу – іонного мікро-зонду, який використовує пучки іонів із енергією від одного до 10 МеВ і є унікальним та достатньо універсальним інстру-мен-том за-вдяки цілому ряду особливостей взаємодії іонів із ма-те-ріа-лом зразків.
Найкращу величину просторової роздільної здатності мік-розондів 0,4 х  0,4 мкм2 для протонних пучків з енергією три МеВ і стру-мом близько 100 пкА було досяг-ну-то в 1986 р., за минулі 20 ро-ків її майже не було покращено, незважаючи на удосконалення квад-рупольних лінз і електростатичних при-ско-рювачів. Рекордна ве-личина на сьогодні складає 0,29 х 0,45 мкм2, сучасні іонні мік-ро-зонди мають стабільну роздільну здатність на рівні одного мкм в режимі елементного аналізу. В режимах зі стру-мом, мен-шим одного фА, гранична роз-діль-на здатність складає сьо-годні близько 100 х 100 нм2. Досяг-ну-того до-стат-ньо для про-ве-ден-ня цілого ряду біо-логічних до-слід-жень, аналізу структури та складу ма-теріалів, ство-рення три-ви-мірних мікро-структур. Між тим, все більш на-галь-ною за-да-чею стає покращення роздільної здат-ності мікро-зон-дів.
Система формування зонда є найбільш природним об’єктом для проведення оптимізації з метою покращення роздільної здат-ності. На сьогодні, в більшості мікрозондів, що зна-ходять-ся в експлуатації, фазовий об’єм пучка на вході зондоформуючої сис-те-ми (ЗФС) обмежується системою колі-ма-то-рів, після чого він під-даєть-ся фокусуванню за допомогою мультиплетів (систем із двох, трьох, або більшої кількості) магнітних чи елект-ро-ста-тич-них квад-ру-поль-них лінз. Як система із багатьох складових, муль-ти-плети квадрупольних лінз ха-рак-тери-зуються наявністю взаємо-по-в’я-за-них, але конкуруючих властивостей, чим ви-значаєть-ся гра-нич-но досяжна роздільна здатність. В якості таких влас-ти-вос-тей виступають коефіцієнти зменшення та аберації, при цьо-му є можливість пошуку оптимальної (в плані гранично до-сяж-ної роздільної здатності) конфігурації ЗФС.
До цього часу задача пошуку оптимальних ЗФС роз-в’я-зу-ва-лась фрагмен-тарно, лише для декількох варіантів ком-понування.

Завантажити цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11  12  13 



Реферат на тему: ГРАНИЧНА РОЗДІЛЬНА ЗДАТНІСТЬ ЗОНДОФОРМУЮЧИХ СИСТЕМ НА БАЗІ ПАРАМЕТРИЧНИХ МУЛЬТИПЛЕТІВ КВАДРУПОЛЬНИХ ЛІНЗ

BR.com.ua © 1999-2017 | Реклама на сайті | Умови використання | Зворотній зв'язок