Головна Головна -> Реферати українською -> Дисертації та автореферати -> ДИНАМІЧНА ІНТЕГРАЛЬНА РЕНТГЕНІВСЬКА ДИФРАКТОМЕТРІЯ ПОРУШЕНИХ ПОВЕРХНЕВИХ ШАРІВ МОНОКРИСТАЛІВ З МІКРОДЕФЕКТАМИ

ДИНАМІЧНА ІНТЕГРАЛЬНА РЕНТГЕНІВСЬКА ДИФРАКТОМЕТРІЯ ПОРУШЕНИХ ПОВЕРХНЕВИХ ШАРІВ МОНОКРИСТАЛІВ З МІКРОДЕФЕКТАМИ

Назва:
ДИНАМІЧНА ІНТЕГРАЛЬНА РЕНТГЕНІВСЬКА ДИФРАКТОМЕТРІЯ ПОРУШЕНИХ ПОВЕРХНЕВИХ ШАРІВ МОНОКРИСТАЛІВ З МІКРОДЕФЕКТАМИ
Тип:
Реферат
Мова:
Українська
Розмiр:
19,32 KB
Завантажень:
369
Оцінка:
 
поточна оцінка 5.0


Скачати цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11  12 
НАЦІОНАЛЬНА АКАДЕМІЯ НАУК УКРАЇНИ
ІНСТИТУТ МЕТАЛОФІЗИКИ ім. Г.В. КУРДЮМОВА
КОГУТ Михайло Тихонович
УДК 539.26
ДИНАМІЧНА ІНТЕГРАЛЬНА РЕНТГЕНІВСЬКА ДИФРАКТОМЕТРІЯ
ПОРУШЕНИХ ПОВЕРХНЕВИХ ШАРІВ МОНОКРИСТАЛІВ З МІКРОДЕФЕКТАМИ
 
01.04.07 – фізика твердого тіла
Автореферат на здобуття наукового ступеня
кандидата фізико-математичних наук
Київ – 2005


Дисертацією є рукопис.
Робота виконана в Інституті металофізики ім. Г.В. Курдюмова
Національної академії наук України
Науковий керівник кандидат фізико-математичних наук, Низкова Ганна Івановна,
Інститут металофізики ім Г.В. Курдюмова НАН України, завідувач відділу.
ст. наук. співр. Відділу теорії твердого тіла
Офіційні опоненти:
доктор фізико-математичних наук, професор
Новиков М.М., проф.. кафедри фізики металів,
Київського національного університету ім. Тараса
Шевченка
доктор фізико-математичних наук, професор
Прокопенко Ігор Васильович, заступник директора
Інституту фізики напівпровідників НАН України
Провідна установа:
Чернівецький національний університет
ім. Ю.Федьковича МОН України, м. Чернівці
Захист відбудеться "29" березня 2005 р. о 14 годині на засіданні спеціалізованої вченої ради Д.26.168.02 при Інституті металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України за адресою 03142, м. Київ, бульвар Вернадського, 36.
З дисертацією можна ознайомитись в бібліотеці Інституту металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України за адресою: 03142, м.Київ, бульв. Акад. Вернадського,36.
Автореферат розісланий 23 лютого 2005 р.
Учений секретар
спеціалізованої
вченої ради Д.26.168.02
д. ф.-м. н. _________________ СИЗОВА Т.Л.
підпис


Загальна характеристика роботи
Актуальність теми. Структурна досконалість монокристалічних матеріалів, що використовуються для виготовлення твердотільних приладів, грає суттєву роль у забезпеченні необхідних параметрів та довговічності їх роботи.
Поверхневий шар з порушеною структурою - один з найбільш розповсюджених типів спотворень кристалічної структури монокристалів, оскільки виробництво твердотільних приладів різних типів пов’язане як з механічною обробкою поверхні пластин (різка, шліфовка, поліровка), так і з іншими, більш тонкими, обробками поверхні у процесі наступних технологічних операцій, які обумовюють поверхневі електрофізичні характеристики твердотільних приладів.
Визначення товщини та інших параметрів порушеного поверхневого шару (ППШ) монокристалів після етапів виготовлення підкладок з них, тобто після різки, шліфовки, травлення та хіміко-механічної поліровки дозволяє, по-перше, оптимізувати режими механічної обробки кристалів, а по-друге - розробити критерії відбраковки пластин на початкових етапах виготовлення підкладок з метою економії цих матеріалів, які, як правило, дорого коштують. Вирішення цього завдання потребує розробки неруйнуючих експресних методів контролю параметрів порушеного шару.
Із неруйнуючих методів достатньо розвинуті методи трикристальної рентгенівської дифрактометрії (особливо у ковзній геометрії), що базуються на дифракції рентгенівських променів в умовах повного зовнішнього відбиття, асимптотичної бреггівської дифракції, а також на вивченні вторинних випромінювань при рентгенівській дифракції. Ці методи мають високу чутливість, точність, однак вони вимагають наявності нестандартного обладнання та достатньо великого часу на юстування приладу та запис відповідних кривих. Головне ж - вони застосовні до дослідження дуже тонких порушених шарів (впритул до декількох атомних шарів) та не можуть бути використані для дослідження пластин на початкових етапах виготовлення підкладок (після механічнкої обробки). Крім того вони не враховують та не використовують для діагностики суттєве у цих випадках дифузне розсіяння від мікро- та нанорозмірних дефектів, що є в об’ємі та у поверхневому шарі кристалів.
Особливо перспективними є методи визначення параметрів порушених поверхневих шарів, що базуються на вимірюваннях інтегральних інтенсивностей дифрагованих пучків та характеризуються високою чутливістю у порівнянні з диференційними дифрактометричними методами.

Завантажити цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11  12 



Реферат на тему: ДИНАМІЧНА ІНТЕГРАЛЬНА РЕНТГЕНІВСЬКА ДИФРАКТОМЕТРІЯ ПОРУШЕНИХ ПОВЕРХНЕВИХ ШАРІВ МОНОКРИСТАЛІВ З МІКРОДЕФЕКТАМИ

BR.com.ua © 1999-2017 | Реклама на сайті | Умови використання | Зворотній зв'язок