Головна Головна -> Реферати українською -> Дисертації та автореферати -> ФОРМУВАННЯ СТРУКТУРИ І ФІЗИЧНИХ ВЛАСТИВОСТЕЙ НІТРИДНИХ ПЛІВОК, ОТРИМАНИХ МЕТОДАМИ РЕАКТИВНОГО РОЗПИЛЮВАННЯ НА ПІДКЛАДКАХ Si, Ni, Ti, Ta, Мо і W.

ФОРМУВАННЯ СТРУКТУРИ І ФІЗИЧНИХ ВЛАСТИВОСТЕЙ НІТРИДНИХ ПЛІВОК, ОТРИМАНИХ МЕТОДАМИ РЕАКТИВНОГО РОЗПИЛЮВАННЯ НА ПІДКЛАДКАХ Si, Ni, Ti, Ta, Мо і W.

Назва:
ФОРМУВАННЯ СТРУКТУРИ І ФІЗИЧНИХ ВЛАСТИВОСТЕЙ НІТРИДНИХ ПЛІВОК, ОТРИМАНИХ МЕТОДАМИ РЕАКТИВНОГО РОЗПИЛЮВАННЯ НА ПІДКЛАДКАХ Si, Ni, Ti, Ta, Мо і W.
Тип:
Реферат
Мова:
Українська
Розмiр:
17,80 KB
Завантажень:
377
Оцінка:
 
поточна оцінка 5.0


Скачати цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10 
НАЦІОНАЛЬНА АКАДЕМІЯ НАУК УКРАЇНИ
Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О.Галкіна НАН України
На правах рукопису
Кляхіна Наталія Панасівна
УДК 535. 338. 43. 533. 59
ФОРМУВАННЯ СТРУКТУРИ І ФІЗИЧНИХ ВЛАСТИВОСТЕЙ НІТРИДНИХ ПЛІВОК, ОТРИМАНИХ МЕТОДАМИ РЕАКТИВНОГО РОЗПИЛЮВАННЯ НА ПІДКЛАДКАХ Si, Ni, Ti, Ta, Мо і W.
01.04.07 – фізика твердого тіла
Автореферат
дисертації на здобуття наукового ступеня
кандидата фізико-математичних наук
Донецьк – 2004
Дисертацією є рукопис
Робота виконана на кафедрі фізики твердого тіла і фізичного матеріалознавства Донецького національного університету Міністерства освіти і науки України.
Науковий керівник: доктор фізико-математичних наук, професор, Ігнатенко Петро Іванович, професор кафедри фізики твердого тіла і фізичного матеріалознавства Донецького національного університету Міністерства освіти і науки України, м. Донецьк.
Офіційні опоненти: доктор фізико-математичних наук, професор, Пугачов Анатолій Тарасович, завідувач кафедри “Фізики металів і напівпровідників” Національного технічного університету „Харківський політехнічний інститут” Міністерства освіти і науки України, м. Харків.
доктор фізико-математичних наук, Самойленко Зінаїда Андріївна, провідний науковий співробітник Донецького фізико-технічного інституту ім. О.О. Галкіна НАН України , м. Донецьк.
Провідна установа: Інститут проблем матеріалознавства ім. І. М. Францевича НАН України
Захист відбудеться 27.01.2005р. о 14 годин на засіданні спеціалізованої ради Д 11.184.01 при Донецькому фізико-технічному
інституті ім. О. О. Галкіна НАН України
за адресою: 83114, м. Донецьк, вул. Р. Люксембург, 72
З дисертацією можна ознайомитись в науковій бібліотеці Донецького фізико-технічного інституту ім. О.О. Галкіна НАН України.
Автореферат розісланий 22.12.2004р.
Вчений секретар спеціалізованої
ради Д 11.184.01, кандидат фізико-
математичних наук Т. М. Тарасенко

ЗАГАЛЬНА ХАРАКТЕРИСТИКА РОБОТИ
Актуальність теми. Проблема вивчення різних властивостей і структури плівок та покрить є найважливіша у фізиці твердого тіла. Виник навіть новий напрямок – плівкове матеріалознавство. Важко назвати область науки і техніки, де б не застосовувалися плівки; особливо велика їхня роль у твердотельной мікроелектрониці. Плівки і покриття нітридів володіють багатьма фізичними, механічними і фізико-хімічними властивостями, що обумовлюють їхнє перспективне застосування в приладовому машинобудуванні й у мікроелектрониці.
У багатьох електронних пристроях широко використовуються різні плівки, у тому числі і плівки нітридів 1. Зокрема, перспективні напівпровідникові нітриди із широкою забороненою зоною: системи N-III група (B, Al, Ba, In, Tl) для виготовлення оптоелктронних і електронних приладів на основі гетероструктур. Плівки нітридів тугоплавких металів (Mo, W, Ta і ін.) знаходять застосування в техніці створення твердих, зміцнених і жаростійких покрить. Ряд нітридів матеріалів (Ti і ін.) одержали останнім часом широке поширення як бар'єрні шари в багатошарових контактних системах кремнієвих інтегральних схем (ІС).
Нітридні плівки одержують багатьма методами, у тому числі методами реактивного розпилення: іонною імплантацією (ІІ) і конденсацією й іонним бомбардуванням (КІБ). Однак дотепер не проведене порівняльне дослідження різних методів напилювання, далеко не цілком розкритий механізм, вивчена кінетика росту і структура нітридних плівок, залежність їхніх властивостей від способу одержання. Усе це свідчить про актуальність подальших досліджень нітридів різних металів, у тому числі плівкових нітридів у таких системах як Si-N, Ni-N, Mo-N, W-N, Ti-N, Та-N, Al-N.
Об'єктами дослідження даної роботи є плівки, отримані методами реактивного розпилення на підкладках Si, Ni, Ti, Ta, Mo, W при використанні титанової й алюмінієвої мішені.
Предмет дослідження – порівняльний аналіз впливу методів реактивного розпилення ІІ і КІБ на структуру, кінетику, механізм росту і властивості одержуваних плівок.
Мета роботи і задачі дослідження. Досліджувати вплив різних методів напилювання на механізм росту, фазовий склад, структуру, кінетику росту і властивості нітридних плівок, отриманих на Si, Ni, Ti і на тугоплавких підкладках і сформулювати практичні рекомендації.

Завантажити цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10 



Реферат на тему: ФОРМУВАННЯ СТРУКТУРИ І ФІЗИЧНИХ ВЛАСТИВОСТЕЙ НІТРИДНИХ ПЛІВОК, ОТРИМАНИХ МЕТОДАМИ РЕАКТИВНОГО РОЗПИЛЮВАННЯ НА ПІДКЛАДКАХ Si, Ni, Ti, Ta, Мо і W.

BR.com.ua © 1999-2017 | Реклама на сайті | Умови використання | Зворотній зв'язок