Головна Головна -> Реферати українською -> Дисертації та автореферати -> РОЗРОБКА МЕТОДУ ОБРОБКИ ІНТЕРФЕРОГРАМ ФАБРІ?ПЕРО ДЛЯ ВИЗНАЧЕННЯ ПАРАМЕТРІВ ПЛОСКОПАРАЛЕЛЬНИХ ПЛІВКОВИХ СТРУКТУР

РОЗРОБКА МЕТОДУ ОБРОБКИ ІНТЕРФЕРОГРАМ ФАБРІ?ПЕРО ДЛЯ ВИЗНАЧЕННЯ ПАРАМЕТРІВ ПЛОСКОПАРАЛЕЛЬНИХ ПЛІВКОВИХ СТРУКТУР

Назва:
РОЗРОБКА МЕТОДУ ОБРОБКИ ІНТЕРФЕРОГРАМ ФАБРІ?ПЕРО ДЛЯ ВИЗНАЧЕННЯ ПАРАМЕТРІВ ПЛОСКОПАРАЛЕЛЬНИХ ПЛІВКОВИХ СТРУКТУР
Тип:
Реферат
Мова:
Українська
Розмiр:
15,78 KB
Завантажень:
462
Оцінка:
 
поточна оцінка 5.0


Скачати цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11 
Міністерство освіти і науки України
Прикарпатський національний університет
імені Василя Стефаника
Каркульовська Мар’яна Савівна
УДК 535.4; 535.854
РОЗРОБКА МЕТОДУ ОБРОБКИ ІНТЕРФЕРОГРАМ ФАБРІ?ПЕРО ДЛЯ ВИЗНАЧЕННЯ ПАРАМЕТРІВ ПЛОСКОПАРАЛЕЛЬНИХ ПЛІВКОВИХ СТРУКТУР
СПЕЦІАЛЬНІСТЬ 01.04.18 – ФІЗИКА І ХІМІЯ ПОВЕРХНІ
АВТОРЕФЕРАТ
дисертації на здобуття наукового ступеня
кандидата фізико-математичних наук
Івано-Франківськ ? 2004
Дисертацією є рукопис.
Робота виконана на кафедрі фізики Національного університету “Львівська політехніка”, Міністерство освіти і науки України.
Науковий керівник: доктор фізико-математичних наук, професор
Кособуцький Петро Сидорович,
професор кафедри фізики
Національного університету “Львівська політехніка”, Міністерство освіти і науки України, м. Львів.
Офіційні опоненти: доктор фізико-математичних наук, професор
Курик Михайло Васильович,
завідувач відділу молекулярної фотоелектроніки
Інституту фізики, Національна Академія Наук
України, м. Київ;
доктор технічних наук,
старший науковий співробітник
Муравський Леонід Ігорович,
завідувач відділу оптико-електронних інформаційних систем
Фізико-механічного інституту імені Г. В. Карпенка,
Національна Академія Наук України, м. Львів.
Провідна установа:
Інститут фізики напівпровідників імені В. Є. Лашкарьова,
Національна Академія Наук України,
відділ фізичних основ інтегральної електроніки, м. Київ.
Захист відбудеться „ 28 ” лютого 2005 року о 14 00 годині на засіданні спеціалізованої вченої ради Д 20.051.06 у Прикарпатському національному університеті імені Василя Стефаника Міністерства освіти і науки України за адресою: 76025, м. Івано-Франківськ, вул. Шевченка, 57, конференц-зал (2й поверх).
З дисертацією можна ознайомитися у бібліотеці Прикарпатського національного університету імені Василя Стефаника (76025, м. Івано-Франківськ, вул. Шевченка, 57).
Автореферат розісланий ” 24 ” січня 2005 року.
Вчений секретар
спеціалізованої вченої ради Д 20.051.06,
д.т.н., професор Сіренко Г.О.
ЗАГАЛЬНА ХАРАКТЕРИСТИКА ДИСЕРТАЦІЇ
Актуальність теми. Розвиток фізики електронних процесів на поверхні і границях розділів та планарної мікроелектроніки стимулював не лише появу нових напрямків меза– і нанофізики, але і поставив нові вимоги до фізичних методів досліджень структури електронних матеріалів, чинне місце серед яких займає оптичний метод. Він є неруйнівний, оскільки базується на використанні електромаґнітної природи світла, а відповідна теорія дає змогу одержувати вирази для комплексних амплітудних коефіцієнтів пропускання і відбиття в термінах макроскопічних оптичних властивостей середовищ, що характеризують конкретну досліджувану структуру. Суть методу полягає в тому, що під час відбиття чи пропускання світлової хвилі на границі розділу чи плівкою, зокрема на поверхні, аналізується зміна її амплітуди і фази.
Поверхні розділу ? одна або й декілька, що утворюють плівкові структури ? завжди мають реальні електронні матеріали. Вони першими зазнають впливу атмосферних чи спеціальних дій, зокрема під час цілеспрямованих технологічних процесів. Тому потреба в неруйнівному контролі параметрів оптично неоднорідних шарів робить актуальним подальше вдосконалення відповідних методів, особливо тих, принципи дії яких ґрунтуються на багатопроменевій інтерференції.
Незважаючи на складну будову поверхневих чи плівкових структур, часто для моделювання їх оптичних властивостей застосовують спрощені моделі, передовсім у вигляді плоскопаралельного шару, який в літературі відомий як інтерферометр Фабрі?Перо. В ньому світловий промінь зазнає багаторазового перевідбиття, внаслідок чого утворюється система когерентних променів, що інтерферують між собою і формують відомий спектр Фабрі?Перо як у геометрії відбиття, так і у геометрії пропускання.
Нині цей підхід всебічно вивчається як з експериментального, так і з теоретичного погляду. На його основі розроблений і широко застосовується метод еліпсометрії, який переважно використовують, коли товщина плоскопаралельного шару співвимірна або менша від довжини хвилі.

Завантажити цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11 



Реферат на тему: РОЗРОБКА МЕТОДУ ОБРОБКИ ІНТЕРФЕРОГРАМ ФАБРІ?ПЕРО ДЛЯ ВИЗНАЧЕННЯ ПАРАМЕТРІВ ПЛОСКОПАРАЛЕЛЬНИХ ПЛІВКОВИХ СТРУКТУР

BR.com.ua © 1999-2017 | Реклама на сайті | Умови використання | Зворотній зв'язок