Головна Головна -> Реферати українською -> Дисертації та автореферати -> СЕЛЕКТИВНІ ПРОЦЕСИ ПРИ ЗНИЖЕНИХ КОЕФІЦІЄНТАХ КОНДЕНСАЦІЇ

СЕЛЕКТИВНІ ПРОЦЕСИ ПРИ ЗНИЖЕНИХ КОЕФІЦІЄНТАХ КОНДЕНСАЦІЇ

Назва:
СЕЛЕКТИВНІ ПРОЦЕСИ ПРИ ЗНИЖЕНИХ КОЕФІЦІЄНТАХ КОНДЕНСАЦІЇ
Тип:
Реферат
Мова:
Українська
Розмiр:
31,08 KB
Завантажень:
79
Оцінка:
 
поточна оцінка 5.0


Скачати цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11  12  13  14  15  16  17  18  19 
НАЦІОНАЛЬНА АКАДЕМІЯ НАУК УКРАЇНИ
ІНСТИТУТ ЕЛЕКТРОФІЗИКИ І РАДІАЦІЙНИХ ТЕХНОЛОГІЙ
Перекрестов Вячеслав Іванович
УДК 539.231.793.72:001.891.573
СЕЛЕКТИВНІ ПРОЦЕСИ ПРИ ЗНИЖЕНИХ КОЕФІЦІЄНТАХ КОНДЕНСАЦІЇ
Спеціальність 01.04.07 – фізика твердого тіла
АВТОРЕФЕРАТ
дисертації на здобуття наукового ступеня
доктора технічних наук
Харків-2006


Дисертацією є рукопис.
Робота виконана у Сумському державному університеті Міністерства освіти і науки України.
Науковий консультант:
Заслужений діяч науки і техніки України, доктор фізико-
математичних наук, професор
Олємской ОлександрІванович, зав. кафедри Сумського
державного університету.
Офіційні опоненти:
1 Доктор технічних наук, старший науковий співробітник
Тюрін Юрій Миколайович, Інститут електрозварювання
ім. Е.О. Патона НАН України, провідний науковий співробітник.
2. Доктор фізико-математичних наук, старший науковий
співробітник
Татаренко Валентин Андрійович, Інститут
металофізики ім. Г.В.Курдюмова НАН України, провідний
науковий співробітник.
3. . Доктор технічних наук, старший науковий співробітник
Мацевітий Володимир Михайлович, Інститут проблем машинобудування ім. А.М.Підгорного НАН України, провідний науковий співробітник.
Провідна установа:
Національний технічний університет України ”КПІ” МОН України (кафедра загальної та експериментальної фізики ), м.Київ.
Захист відбудеться ”29” травня 2006 р. о 1400 годині на засіданні спеціалізованої вченої ради Д 64.245.01 при Інституті електрофізики і радіаційних технологій НАН України за адресою: 61103, м.Харків, вул.Гамарника, 2, корпус У-3, НТУ ”ХПІ”, ауд.204.
З дисертацією можна ознайомитися у бібліотеці Інституту електрофізики і радіаційних технологій НАН України за адресою: 61024, м.Харків, вул. Гуданова, 13. Відзиви про автореферат можна надсилати за адресою: 61002, м.Харків, вул.Чернишевського, 28, а/с 8812.
Автореферат розісланий ”26”квітня 2006 р.
Вчений секретар
спеціалізованої вченої ради Д 64.245.01 О.С. Молєв


ЗАГАЛЬНА ХАРАКТЕРИСТИКА РОБОТИ
Актуальність теми. У переважній більшості технологічних задач щодо формування вакуумних конденсатів із тими чи іншими фізичними властивостями вирішуються проблеми селективності, що викликані необхідністю вибору з можливої різноманітності структурно-фазових станів необхідного оптимального варіанта. На сьогодні формування високопоруватих тривимірних наноструктур (наприклад, поруватого кремнію) в основному базується на хімічному травленні попередніх кристалів. Як показали проведені у роботі дослідження, в умовах конденсації з малими коефіцієнтами (~ 0.07-0.01) відбувається поатомне "будівництво" мікро- і наноструктур різної "архітектури", наприклад, у вигляді слабко зв'язаних один з одним кристалів, стопбчастих або тривимірних лабіринтових шарів. Подібного виду конденсати можуть використовуватися як різні наноструктури, а також елементи сенсорної техніки, ультратонкі фільтри, каталізатори і т.д. Поряд з цим систематизовані результати досліджень, пов'язані з конденсацією поблизу фазової рівноваги у системі пара-конденсат, вітсутні, що визначає цей науковий напрямок як достатньо перспективну нанотехнологію.
У сферах мікроелектроніки та машинобудування важливе місце займають технології з нанесення надтвердих, хімічно стійких та структурно досконалих шарів, отримання яких неможливе без всебічного вивчення процесів фазової селективності, пов'язаної з хімічним складом конденсату, а також умовами переходу речовини в конденсований стан. Розпилюючи за допомогою низькотемпературної плазми складені мішені різної геометричної конфігурації в умовах високочистого інертного середовища і малих коефіцієнтів конденсації, можна ефективно керувати хімічним складом карбідів перехідних металів, отримуючи при цьому широкий спектр фізичних властивостей. Разом з цим, не зважаючи на очевидну актуальність подібних досліджень, відповідні до цього наукового напрямку літературні дані практично відсутні.
Без всебічного вивчення фазової селективності неможливо створювати нові технології з одержання алмазоподібних або алмазних шарів, що на даний час усе більш широко використовуються в машинобудуванні та мікроелектроніці.

Завантажити цю роботу безкоштовно
Пролистати роботу: 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11  12  13  14  15  16  17  18  19 



Реферат на тему: СЕЛЕКТИВНІ ПРОЦЕСИ ПРИ ЗНИЖЕНИХ КОЕФІЦІЄНТАХ КОНДЕНСАЦІЇ

BR.com.ua © 1999-2017 | Реклама на сайті | Умови використання | Зворотній зв'язок